Zurück in die 90er: Russland baut eigenen 350-nm-Belichter
Russland versucht, in der Halbleiterfertigung unabhängiger zu werden. Ein Schritt dazu soll eine selbst entwickelte Fotolithografiemaschine(öffnet im neuen Fenster) sein, die 350-nm-Strukturen belichten kann.
Entwickelt hat sie das Zelenograd Nanotechnology Center (ZNTC), ein staatlich finanzierter Business Accelerator, zusammen mit der offenen Aktiengesellschaft Planar(öffnet im neuen Fenster) aus Minsk in Belarus. Letztere baut bereits Lithografiesysteme, allerdings ohne Angabe von Spezifikationen.
350-nm-Chips sind zwar lange überholt – die ersten Athlons und Pentium II wurden mit 350-nm-Prozessen gefertigt -, für Sensoren, mikro-elektromechanische Systeme (MEMS) und Mikrocontroller sind sie aber vollkommen ausreichend. Auf genau diese Chips ist das ZNTC spezialisiert, die Homepage listet eine Reihe von Signalprozessoren für die Verarbeitung von Sensordaten auf. Daneben werden Entwicklungsdienstleistungen für Analog- und Digitalchips sowie MEMS angeboten.
2026 kommt der Sprung ins aktuelle Jahrtausend
Laut der Pressemitteilung des ZNTC arbeitet man bereits an einem Nachfolger, der 130-nm-Strukturen belichten können soll. Die Entwicklungen sollen 2026 abgeschlossen sein, langfristiges Ziel sind 65 nm.
ZNTC wird laut der Wirtschaftszeitung Kommersant(öffnet im neuen Fenster) stark vom russischen Staat unterstützt: Seit 2019 hat das Unternehmen demnach 8 Milliarden Rubel (nach aktuellem Wechselkurs 87,2 Millionen Euro) erhalten, allein 2021 5,7 Milliarden für die Entwicklung von Lithografiemaschinen(öffnet im neuen Fenster) (62,1 Millionen Euro).
Noch nicht bereit für die Serienfertigung
Ganz fertig ist aber auch der 350-nm-Belichter wohl noch nicht: Er soll zunächst noch intern getestet und angepasst werden. Wann er in der Serienfertigung genutzt wird, ist unklar. Als Lichtquelle kommt ein Festkörperlaser zum Einsatz, nach ursprünglichen Planungen sollte der von einem russischen Hersteller kommen.
Genutzt werden sollen die Belichter für den Aufbau neuer sowie die Modernisierung bestehender Fertigungskapazitäten in Russland. An denen ist auch der Iran interessiert, beide Länder unterzeichneten laut dem aktuellen Kommersant-Bericht ein Memorandum über eine gemeinsame Halbleiterproduktion. Die Zeitung nennt auch einen Preis für das Lithografiesystem: Umgerechnet 4,5 Millionen US-Dollar soll es kosten.
Dafür lassen sich lediglich 8-Zoll-Wafer (200 mm Durchmesser) bearbeiten, mit einer Maskengröße (Reticle Limit) von 22 x 22 mm befindet sich die Maschine auf dem Niveau von i-Line-Anlagen, wie sie etwa auch Nikon(öffnet im neuen Fenster) oder Canon anbieten. Zum Durchsatz findet sich keine Angabe.
Die Lokalisierung der Halbleiterfertigung soll Russland aus einem Dilemma befreien: Durch Sanktionen aufgrund des Kriegs gegen die Ukraine ist das Land von offiziellen Importwegen großenteils abgeschnitten. Für viele seiner in diesem Krieg genutzten Waffensysteme ist das Land aber auf importierte Halbleiter angewiesen.
Auch Mikroelektronik für eigene Bevölkerung, etwa die Apple Watch, die der Generaldirektor des ZNTC auf einem Bild trägt(öffnet im neuen Fenster) , muss teuer über Umwege importiert werden. Der Großteil stammt aus Altbeständen , wird geschmuggelt oder aus der Volksrepublik China importiert. Dabei soll es in der Vergangenheit Probleme mit defekten Chips gegeben haben .
Auch in der Halbleiterfertigung wird Russland weiter stark vom Ausland abhängig bleiben, insbesondere von China. Denn neben Belichtern braucht es dafür diverse weitere Maschinen, Chemikalien und andere Produkte.