Twinscan NXE:3600D: ASML liefert bisher schnellste EUV-Maschine aus

Der niederländische Chipmaschinenausrüster ASML verbucht Bestellungen für über 8 Milliarden Euro, da auch drei DRAM-Fertiger orderten.

Artikel veröffentlicht am 21. Juli 2021, 11:31 Uhr, Marc Sauter

Der Twinscan NXE:3600D steigert den Wafer-Durchsatz. (Bild: ASML)

ASML hat die ersten Auslieferungen der Twinscan NXE:3600D genannten Scanner für die Halbleiterfertigung mit extrem ultravioletter Belichtung (EUV) vorgenommen. Dem Chipmaschinenausrüster zufolge erreichen diese eine höhere Produktivität, was wichtig für den Output ist.

Der Twinscan NXE:3600Dschafft einen Durchsatz von theoretisch bis zu 180 Wafern pro Stunde, der bisherige Twinscan NXE:3400C nur bis zu 170 Scheiben. In der Praxis soll ASML zufolge die Produktivität um 15 bis 20 Prozent steigern, weitere Vorteile sind unter anderem der um 30 Prozent verbesserte Overlay.

Während die EUV-Belichtung in den vergangenen ein bis zwei Jahren primär für Logikchips verwendet wurde, soll der Fokus des NXE:3600D neben 3 nm und 5 nm auch auf der DRAM-Fertigung liegen. Laut ASML arbeiten alle drei großen Hersteller an entsprechenden Nodes, wobei Samsung und SK Hynix mit ihren 1a-Designs bereits erste EUV-DRAM-Produkte in Produktion haben und Micron nachziehen wird.

EUV für DRAM kommt

Im zweiten Quartal 2021 hat ASML neue Buchungen von 8,3 Milliarden Euro erhalten - davon entfallen 4,9 Milliarden Euro auf Maschinen mit EUV-Technik. Der Umsatz lag bei 4,02 Milliarden Euro und der Gewinn bei 1,038 Milliarden Euro mit klarerer Tendenz nach oben.

Bisher werden 71 Prozent aller gebuchten Systeme für Logik eingesetzt, 29 Prozent ergo für Speicher. Dieses Verhältnis dürfte sich in den kommenden Quartalen aber ändern, sobald die DRAM-Fertiger ihre Fabs nach und nach auf extrem ultraviolette Belichtung umrüsten. Von Q1/2021 auf Q2/2021 stieg der Anteil der verkauften EUV-Scanner von 36 Prozent auf 45 Prozent, wobei sich der von Memory von 22 Prozent auf 28 Prozent erhöhte.

Insgesamt will ASML in den nächsten Monaten noch 28 weitere EUV-Systeme ausliefern, im ersten Halbjahr waren es 13. Ausgehend von diesen 41 Scannern planen die Niederländer für 2022 mit 45 bis 50 Scannern (siehe Transkript-PDF des Investors Call).