SMIC-Deal mit ASML: "Ein Schlag ins Gesicht" aus US-Perspektive

ASML verkauft Chip-Maschinen für 1,2 Milliarden US-Dollar an den chinesischen Fertiger SMIC, wenngleich nur DUV-Scanner.

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Ein älterer 45-nm-Wafer von SMIC
Ein älterer 45-nm-Wafer von SMIC (Bild: Reuters)

Eine Pflichtmitteilung an der Hongkonger Börse ist der Auslöser gewesen: Der chinesische Auftragsfertiger SMIC meldete dort (PDF), dass ein Abkommen mit dem niederländischen Ausrüster ASML getroffen worden sei und dieser für 1,2 Milliarden US-Dollar weiterhin DUV-Scanner liefere.

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Die Niederländer sahen sich zu einer Klarstellung genötigt, denn der Vertrag besteht schon seit Jahren. Konkret umfasste er den Zeitraum von Januar 2018 bis Dezember 2020, wurde aber im Februar bis Dezember 2021 verlängert.

Bei dem Deal geht es um Systeme für die Halbleiterfertigung per Immersionslithografie, kurz DUV (Deep Ultra Violett). Solche Scanner werden von SMIC für das eigene 14-nm-Verfahren verwendet, auch der N+1 genannte Prozess soll weiterhin auf DUV-Technik basieren.

SMIC steht auf der Entity List

Aus Sicht der USA sei der Verkauf von DUV-Scannern an SMIC ein "Schlag ins Gesicht", sagte eine hochrangige Person aus der US-Industrie der Nachrichtenagentur Reuters. Im November 2020 hatten die USA die Blacklist aktualisiert, seitdem ist es Unternehmen wie Applied Materials und Lam Research untersagt, ihre Produkte an SMIC zu liefern.

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Mittelfristig hatten die Chinesen geplant, von DUV auf EUV (Extreme Ultra Violett) umzusteigen. 2019 verhinderten die USA jedoch die Lieferung eines EUV-Scanners an SMIC, seitdem erhielt ASML von der niederländischen Regierung auch keine entsprechende Freigabe. EUV ist für moderne Nodes wie 5 nm unerlässlich, ohne frühen Zugriff auf solche Scanner bleibt die Entwicklung stehen.

ASML generierte 2020 knapp 18 Prozent des Umsatzes mit Verkäufen nach China. Dort hat die Regierung allerdings längst erkannt, dass die Technik aus dem eigenen Land kommen muss. Folgerichtig wird Equipment wie Scanner entwickelt, die ohne europäische oder US-Beteiligung auskommen: Bei Shanghai Micro Electronic Equipment (SMEE) entstehen derzeit Scanner, um Chips im 28-nm-Verfahren zu produzieren.

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