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Halbleiterindustrie: China kann laut ASML-CEO 5-nm- und 3-nm-Chips herstellen

Das soll auch mit älteren DUV-Lithografiemaschinen möglich sein, die China weiter kaufen darf. Die Kapazität bleibt dabei allerdings stark beschränkt.
/ Martin Böckmann
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ASML-Maschinen für EUV-Lithografie dürfen aufgrund von US-Exportbeschränkungen nicht nach China geliefert werden. (Bild: ASML)
ASML-Maschinen für EUV-Lithografie dürfen aufgrund von US-Exportbeschränkungen nicht nach China geliefert werden. Bild: ASML

Chinesische Halbleiterhersteller sollen laut ASML-CEO Christophe Fouquet in der Lage sein, eine limitierte Fertigung von 5-nm- und 3-nm-Chips mithilfe von weiterhin verfügbaren DUV-Lithografiemaschinen von ASML zu starten, das berichtet Wall Street Engine (via X(öffnet im neuen Fenster) ). Ebenso sei aber auch klar, dass die USA weiterhin Druck ausüben werden, um weitere Restriktionen gegenüber China zu erwirken.

Zuvor geriet ASML bereits in Erklärungsnot, als der Hersteller beim Quartalsbericht nur rund die Hälfte der erwarteten Bestellungen vorweisen konnte. Das lag allerdings vor allem daran, dass chinesische Kunden im vorherigen Quartal ungewöhnlich viel Produktionsequipment bestellt hatten, um weiteren möglichen Handelsbeschränkungen durch die USA zuvorzukommen.

Da es bisher aber keine neuen Beschränkungen gibt, erwartet ASML eine stetige Rückkehr zu den bisherigen Verkaufszahlen, insgesamt sollen chinesische Unternehmen zuvor für 20 bis 25 Prozent von ASMLs Umsatz verantwortlich gewesen sein. Dabei handelt es sich ausschließlich um DUV-Technik (Deep Ultra Violet), EUV-Equipment (Extreme Ultra Violet) darf nicht in die Volksrepublik China exportiert werden.

Chinesische Hersteller entwickeln einfach weiter

Der Hamsterkauf vor möglichen Verschärfungen der Blockade zeigt, dass China weiterhin abhängig von westlichem Produktionsequipment ist. Gleichzeitig lassen sich Chiphersteller und Halbleiterunternehmen in China aber nicht davon abbringen, so gut es geht, mit der aktuellen Entwicklung mitzuhalten. Hisilicon, ein Tochterunternehmen von Huawei, hat bereits ein ganzes Portfolio an Chips und Halbleiterprodukten entwickelt, die für die vollständige Produktion in China ausgelegt sind.

Auch von einigen Softwareprodukten wird China zwar zunehmend abgeschnitten, was das Land seit einigen Jahren zu vermehrter Eigenentwicklung im Bereich der EDA-Software zwingt. Gerade für alltägliche Produkte ist es daher wahrscheinlich, dass diese bereits in naher Zukunft zu einem immer größeren Anteil vollständig in China entwickelt und produziert werden.


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