Halbleiterfertigung: Zweiter chinesischer Fertiger bietet 7-nm-Prozess an
Durch Handelsbeschränkungen der US-Regierung sind Unternehmen aus der Volksrepublik China von moderner Halbleiterfertigung abgeschnitten – alles ab von 16-nm-Prozessen dürfen Fertiger ihnen nicht anbieten. Mit SMIC bot bislang lediglich ein chinesischer Hersteller einen halbwegs aktuellen Prozess an. Der ist in der N+3-Generation etwa auf dem Stand von 6-nm-Prozessen , doch die Fertigungskapazität ist begrenzt.
Mit Huali Microelectronics will nun laut Reuters(öffnet im neuen Fenster) ein weiterer Hersteller eine 7-nm-Produktion aufbauen. Huali gehört zur Huahong-Gruppe und ist der zweitgrößte Halbleiterhersteller der Volksrepublik. Dafür soll die Huahong Fab 6 genutzt werden, die zuvor einen 14-nm-Prozess als modernste Fertigung anbot. Bereits hierfür werden üblicherweise Belichter mit Argonflouridlasern und Immersionstechnik (ArFI) genutzt.
Die bilden auch bei SMIC die Grundlage der 7-nm-Fertigung mit Mehrfachbelichtung, da EUV-Belichter nicht in die Volksrepublik exportiert werden dürfen. Andere Maschinen soll Huali zumindest teilweise von Sicarrier beziehen, dessen Maschinen Huawei bereits getestet haben soll .
Vorerst wird Huali allerdings die chinesische High-End-Fertigung nur wenig voranbringen – bis Ende 2026 soll eine Testfertigung mit wenigen tausend Wafer-Starts pro Monat laufen. Als erster Kunde soll der GPU-Hersteller Biren die Fertigung für ein neues Produkt nutzen.
Woher stammt der Prozess?
Laut Reuters soll an der Entwicklung des 7-nm-Prozesses bei Huali, die 2025 begonnen worden sein soll, Huawei beteiligt gewesen sein. Der Konzern, der in Europa in erster Linie für seine Mobilfunk-Hardware bekannt ist, ist seit Jahren auch in der Halbleiterfertigung und -entwicklung tätig.
Wie auch andere Hersteller hat Huawei Verfahren für einen 5-nm-Prozess mittels Mehrfachbelichtung zum Patent angemeldet ohne EUV-Belichter. Möglich ist allerdings, dass auch SMIC beteiligt ist, denn Fortschritte bei der Fertigung moderner Halbleiterprozesse sind ein zentrales Anliegen der Regierung der Volksrepublik.
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