Halbleiterfertigung: TSMC macht Rekordumsatz dank Apple

Das 5-nm-Verfahren macht bereits einen deutlichen Anteil bei TSMC aus, auch weil Ausrüster ASML noch mehr EUV-Scanner geliefert hat.

Artikel veröffentlicht am 18. Oktober 2020, 12:02 Uhr, Marc Sauter

TSMC ist der größte Auftragsfertiger der Welt. (Bild: TSMC)

Der weltgrößte Auftragsfertiger TSMC hat im dritten Quartal 2020 den bisher höchsten Umsatz erzielt: Die Taiwaner erwirtschafteten 12,14 Milliarden US-Dollar bei einem Gewinn von 4,68 Milliarden US-Dollar. Das ist ein Plus von 29 Prozent respektive 36 Prozent verglichen zum Vorjahresquartal. Einen deutlichen Anteil daran hat die 5-nm-Fertigung für Apple.

Im iPad Air und vor allem in den vier iPhone 12 steckt der A14 Bionic, den TSMC im N5-Verfahren produziert. Der Node machte im dritten Quartal bereits 8 Prozent des Umsatzes aus, 7 nm kam auf 35 Prozent, 16 nm auf 18 Prozent und 28 nm auf 12 Prozent. In den nächsten Monaten will TSMC den Anteil von N5 am Umsatz weiter steigern, zu diesem Zweck wurde mit der Fab 18 für 17 Milliarden US-Dollar ein zusätzlicher Standort gebaut.

Allerdings benötigt TSMC auch das passende Equipment, welches zumindest für den N5-Prozess anteilig rein vom niederländischen Ausrüster ASML geliefert wird. N5 nutzt extrem ultraviolette Belichtung (EUV) statt klassischer Immersionslithografie, weshalb entsprechende Scanner notwendig sind. Die NXE:3400C genannten Maschinen kosten rund 150 Millionen US-Dollar pro Stück, gleich zehn davon hat ASML im dritten Quartal 2020 ausgeliefert und vier weitere bereits verkauft.

Mit den 14 Scannern macht ASML alleine 2 Milliarden US-Dollar Umsatz oder anders ausgedrückt, zwei Drittel des Gesamtumsatzes sind auf die EUV-Scanner zurückzuführen. Künftig sollen die NXE:3600D genannten Stepper die Produktivität weiter steigern, sie sind für Mitte 2021 geplant. Neben TSMC als größtem Abnehmer kauft auch Samsung Foundry diese Maschinen für die 7LPP-Fertigung, zudem ist Intel ebenfalls ein Kunde für das kommende 7-nm-Verfahren (P1276). Das aktuelle 10 nm Super Fin hingegen nutzt noch Immersionslithografie, ist allerdings sehr fehleranfällig.