Halbleiterfertigung: Chinas erster DUV-Belichter soll in Produktion gehen
Immersionsbelichter mit Argonflourid-Lasern sind das Rückgrat der modernsten Halbleiterprozesse in der Volksrepublik China. Entsprechend hart könnten schärfere Exportregeln durch den Match Act für den wichtigsten Hersteller ASML die Halbleiterbranche des Landes treffen. Daher arbeiten chinesische Unternehmen seit Jahren an eigenen DUV-Immersionsbelichtern. Wie die Plattform The Information(öffnet im neuen Fenster) berichtet, soll nun das erste Modell serienreif sein.
Dem Bericht zufolge sollen 2026 fünf Belichter gebaut werden, 2027 soll die Produktion bereits auf rund 20 ausgebaut werden. Zum Vergleich: ASML kann aktuell jährlich rund 130 DUV-Immersionsbelichter bauen (PDF)(öffnet im neuen Fenster). Welches Unternehmen genau die Maschine baut, lässt The Information offen. Im September 2025 wurde über das bis dahin unbekannte Unternehmen Yuliangsheng berichtet, das einen funktionsfähigen 28-nm-Belichter entwickelt habe.
Der Beschreibung von The Information nach dürfte es sich um dieses System handeln. Allerdings sollen an der Entwicklung Ingenieure verschiedener Maschinenbauer beteiligt gewesen sein. Der Großteil der Komponenten soll von chinesischen Herstellern stammen, kritische Bauteile aber aus Japan importiert werden. Auch bei Fotolack sollen chinesische Halbleiterhersteller weiter auf japanische Lieferanten wie Shin-Etsu angewiesen sein.
Kein echter ASML-Ersatz
Die ersten chinesischen Immersionsbelichter sollen laut The Information an SMIC und Huahong, möglicherweise für die 6/7-nm-Logikprozesse sowie den Flash-Hersteller YMTC geliefert werden.
Die müssen die Maschinen allerdings erst einmal in ihre Produktionsprozesse einbinden, Zuverlässigkeit und die Kompatibilität mit anderer Ausrüstung testen. Das dauert mindestens einige Monate, ob die gleiche Ausbeute an funktionsfähigen Chips wie mit ASML-Maschinen erreicht werden kann, ist offen. In der Vergangenheit zeigte sich, dass ein hoher Anteil chinesischer Maschinen die Ausbeute aufgrund fehlender Abstimmung senkt. Nicht ohne Grund haben chinesische Halbleiterhersteller in den vergangenen Jahren Hunderte DUV-Immersionsbelichter von ASML gekauft.
Auch ist fraglich, ob der chinesische Belichter für die kritischsten Lagen eingesetzt werden kann. Sollte es sich um das Yuliangsheng-System oder eines mit vergleichbarer Leistung handeln, läge das Auflösungsvermögen noch hinter ASMLs verbessertem NXT:1950i(öffnet im neuen Fenster), einem System, das ursprünglich 2008 vorgestellt wurde(öffnet im neuen Fenster). Der Durchsatz, also die Anzahl pro Stunde belichtbarer Wafer, ist wohl niedriger als bei ASML-Systemen, zudem sollen Probleme bei Zulieferern den Produktionsstart verzögert haben.
Auch The Information schreibt, dass die chinesische Maschine weniger leistungsfähig sei als Modelle von ASML und somit keine ernsthafte Konkurrenz darstelle. Dennoch gab der Kurs der ASML-Aktie deutlich nach. Laut Reuters(öffnet im neuen Fenster) erging es den Aktien eines breiten Spektrums an Zulieferern und Halbleiterherstellern ähnlich.
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