Für neue Werke: China zwingt Halbleiterhersteller zu mehr heimischer Technik
Die Halbleiterbranche gilt der Regierung der Volksrepublik China als zentraler Baustein nationaler Unabhängigkeit. Entsprechend gibt es starke Bestrebungen, die Abhängigkeit von ausländischer Technik zu verringern – was immer strengere Exportrichtlinien der US-Regierung auch unumgänglich machen. Dennoch bleiben wohl viele Hersteller lieber bei ausländischer Technik, weshalb die chinesische Regierung laut Reuters(öffnet im neuen Fenster) mit neuen Regeln nachhelfen will.
Diese schreiben für neue Fabriken vor, dass mindestens 50 Prozent der Maschinen von chinesischen Herstellern stammen müssen. Lediglich bei modernsten Prozessen, gemeint dürften die 7-nm-Prozesse von SMIC sowie möglicherweise 3D-NAND von YMTC und (LP)DDR5-Speicher von CXMT sein, sollen Ausnahmen erlaubt sein. Hier erreichen Anlagen von Naura, AMEC oder Sicarrier noch nicht die Leistung der ausländischen Konkurrenz.
Eine Herausforderung stellt zudem die Einbindung der chinesischen Maschinen dar. Die einzelnen Anlagen müssen teils aufeinander abgestimmt werden, um gute Ergebnisse zu erreichen. Dennoch soll SMIC mittlerweile Ätzmaschinen von Naura in seinem 7-nm-Logikprozess – dem modernsten in der Volksrepublik – testen. YMTC soll Ätzmaschinen von Naura bei der Produktion von NAND-Flash mit über 300 Lagen einsetzen.
Umsatzsprung bei Naura und AMEC
Dennoch verkaufen chinesische Hersteller mittlerweile deutlich mehr Maschinen. Die Nachfrage nach Belichtungsmaschinen aus chinesischer Produktion soll gestiegen sein: 421 wurden laut Reuters 2025 verkauft. Dabei ist allerdings unklar, was diese genau können. Bei älteren Fertigungsprozessen, die China stark ausbaut, lassen sich Maschinen von ASML, Canon oder Nikon leichter ersetzen. Immersionslithografiemaschinen für moderne Prozesse sollen sich hingegen erst im Testbetrieb befinden .
Bei Anlagen zum Entfernen von Fotomasken sowie zur Reinigung von Wafern sollen chinesische Hersteller im Land bereits einen Marktanteil von über 50 Prozent haben. Darüber hinaus soll Naura Ersatzteile für Maschinen ausländischer Anbieter entwickelt haben, die diese aufgrund von US-Handelsbeschränkungen nicht mehr liefern dürfen.
Die chinesischen Maschinenbauer sehen bereits jetzt eine deutlich gestiegene Nachfrage: Nauras Umsatz legte im ersten Halbjahr um 30 Prozent auf 16 Milliarden Yuan (rund 2 Milliarden Euro) zu, AMEC verbuchte mit 5 Milliarden Yuan (rund 610 Millionen Euro) im gleichen Zeitraum sogar ein Plus von 44 Prozent. Die neuen Regelungen dürften diesen Trend noch einmal verstärken. Unklar ist allerdings, wann sie in Kraft treten.