Für 7-nm-Prozess: Smic soll chinesischen DUV-Immersionscanner testen
Auch ohne EUV-Scanner kann Smic, der größte Halbleiterhersteller der Volksrepublik China, in einem 7-nm-Prozess fertigen. Möglich machen das Mehrfachbelichtung (g+) und Immersionslithografiemaschinen im fernen UV-Spektrum (DUV). Die dürfen allerdings nur noch mit Genehmigung der USA in die Volksrepublik importiert werden . Damit sind sie für chinesische Fertiger praktisch nicht mehr verfügbar, Alternativen heimischer Firmen lassen seit Jahren auf sich warten .
Wie die Financial Times berichtet(öffnet im neuen Fenster) , soll ein bislang außerhalb der Volksrepublik unbekanntes Unternehmen einen DUV-Immersionsscanner entwickelt haben. Der habe eine Auflösung von 28 nm und setze großenteils auf chinesische Komponenten, Smic teste ihn mit Vierfachbelichtung für seinen 7-nm-Prozess. Allein der Bericht löste einen Kurssprung der Smic-Aktie aus(öffnet im neuen Fenster) . Unabhängigkeit von ausländischen DUV-Belichtern würde für den Fertiger mehr Freiräume im Kapazitätsausbau bedeuten.
Denn Smic kann die Nachfrage nach 7-nm-Wafern von Huawei oder Cambricon kaum decken. Für 2026 ist eine Verdoppelung der Kapazität geplant , langfristig fehlen dafür aber die Maschinen. Die chinesischen Maschinen könnten dem Bericht zufolge ab 2027 in die Serienfertigung integriert werden.
Ob der Zeitplan einzuhalten ist und der getestete Belichter wirklich Maschinen von ASML, Canon und Nikon ersetzen kann, ist aber offen. Die Integration chinesischer Maschinen in die Fertigungsprozesse soll in der Vergangenheit Probleme bereitet und die Ausbeute (Yield) deutlich gedrückt haben .
Ein mysteriöses Unternehmen baut die Maschine
Entwickelt und gebaut hat die Maschine laut Financial Times ein in Shanghai ansässiges Unternehmen namens Yuliangsheng. Es soll neben Smic mit Huawei und Sicarrier zusammenarbeiten.
Über Sicarrier war bereits ein wenig herauszufinden, über Yuliangsheng hingegen findet sich kaum mehr Information als diese: Das Unternehmen existiert und ist in der Halbleiterbranche aktiv. Gegründet wurde es laut Unternehmensdatenbanken Ende Juli 2022, es soll sich um ein privat geführtes, staatliches Unternehmen handeln. Yuliangsheng scheint zudem in großem Stil mit teils mehreren Rekrutierungsrunden pro Jahr Ingenieure und Forscher einzustellen. Das Gehalt soll hoch sein, ähnlich wie bei Sicarrier finden wir aber auch Beschwerden über unprofessionelles Auftreten gegenüber Bewerbern.
Immersionslithografie ist nur ein Zwischenschritt
Seit 2023 wird Yuliangsheng zudem mit Chinas Ambitionen, einen EUV-Belichter zu entwickeln, in Verbindung gebracht(öffnet im neuen Fenster) . Bei Sicarrier soll dieses Projekt laut Financial Times unter dem Namen Mount Everest laufen – alle Produkte des Unternehmens sind nach Bergen in China benannt, dessen Grenzen offensichtlich etwas weiter gezogen werden. Unter dem Titel "Den Mount Everest besteigen, um die Zukunft zu erleuchten" läuft aktuell allerdings auch ein Rekrutierungsprogramm von Yuliangsheng(öffnet im neuen Fenster) .