Fertigungstechnik: Globalfoundries baut Forschungszentrum für EUV-Lithographie

Globalfoundries und Suny Poly investieren eine halbe Milliarde US-Dollar in ein gemeinsames R&D-Zentrum, um die aufwendige und teure EUV-Lithographie schneller marktreif zu machen.

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CNSE
CNSE (Bild: University at Albany College of Nanoscale Science and Engineering/CC-BY 3.0)

Der Auftragsfertiger Globalfoundries und das State University of New York Polytechnic Institute (Suny Poly) haben ein neues Forschungs- und Entwicklungszentrum für die EUV-Lithographie angekündigt. Das Advanced Patterning and Productivity Center (APPC) soll die notwendige R&D-Arbeit an der aufwendigen und sehr teuren Fertigungstechnik beschleunigen.

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Die beiden Partner planen, insgesamt eine halbe Milliarde US-Dollar über fünf Jahre hinweg in das Forschungs- und Entwicklungszentrum zu investieren. Dort sollen rund 100 Entwickler arbeiten, als Werkzeug steht unter anderem ein NXE:3300-System des Chipmaschinenausrüster ASML bereit. Der hatte erst vor wenigen Wochen über den mäßigen Fortschritt bei der EUV-Lithographie gesprochen, die für 2018 oder 2019 in Serie erwartet wird.

  • Wafer mit 7-nm-FinFET-Testchips (Bild: IBM)
  • 7-nm-FinFET-Testchip (Bild: IBM)
  • Detailaufnahme der Transistoren (Bild: IBM)
Wafer mit 7-nm-FinFET-Testchips (Bild: IBM)

Nach aktuellem Stand planen die meisten Halbleiterfertiger wie Globalfoundries, Intel, Samsung oder TSMC die EUV-Lithographie erst für 7FF-Prozesse und darauf folgende Verfahren. Die extreme ultraviolette Strahlung arbeitet im Vakuum, da eine Wellenlänge von 13,5 statt 193 nm wie bei Immersionslithographie verwendet wird - das liegt an der Grenze zu weicher Röntgenstrahlung.

Das Advanced Patterning and Productivity Center wird am College of Nanoscale Science and Engineering (CNSE) des Suny Poly in Albany, New York stehen. Neben der Universität und Globalfoundries werden dort auch Tokyo Electron und IBM forschen, die im Sommer 2015 den weltweit ersten mit 7-nm-Technik und EUV-Lithographie gefertigten Test-Chip gezeigt hatten.

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Alain Kaloyeros, CEO von Suny Poly, sagte: "Das APPC wird Moore's Law weiterleben lassen." Und das, obwohl es mehrfach für tot erklärt wurde.

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