• IT-Karriere:
  • Services:

Fertigungstechnik: EUV wird so schnell nicht serienreif

Dem Fab-Ausrüster ASML zufolge reift die EUV-Lithographie, jedoch nicht so zügig wie erhofft. Ein Test bei Auftragsfertiger TSMC zeigte eine geringe Ausbeute, bald folgen aber bessere Belichtungssysteme.

Artikel veröffentlicht am ,
Ein NXE:3300B-System für EUV-Lithographie
Ein NXE:3300B-System für EUV-Lithographie (Bild: ASML)

Noch werden die Chips für Arbeitsspeicher, Grafikkarten und Prozessoren mit Immersionslithographie gefertigt. Künftig soll die EUV-Lithographie mit extremer ultravioletter Strahlung (daher Extreme Ultra Violet) verwendet werden, was dem Chipmaschinenausrüster ASML zufolge aber weiterhin länger dauert als einst erwartet (PDF). Alle großen Fertiger - Globalfoundries, Intel, Samsung und TSMC - planen zwar mit EUV, die Ausbeute an Wafern und Verlässlichkeit der Systeme muss aber noch zur Serienreife gebracht werden.

  • Erreichte und geplante EUV-Ziele (Bild: ASML)
  • EUV-Roadmap (Bild: ASML)
EUV-Roadmap (Bild: ASML)
Stellenmarkt
  1. Statistisches Bundesamt, Wiesbaden
  2. ENERTRAG Windstrom GmbH, Dauerthal

ASML liefert neben Maschinen für den 10-nm-FinFET-Prozess seit Monaten auch Systeme für die EUV-Lithographie aus, beispielsweise an Intel und TSMC. Für das vergangene Jahr 2015 spricht der niederländische Ausrüster von sechs Maschinen des aktuellen Typs NXE:3350B. Für das laufende Jahr 2016 rechnet ASML mit sechs oder sieben Systemen, darunter modernere vom Typ NXE:3400B. Die sollen den Ausstoß erhöhen und besser verfügbar sein.

Ein vierwöchiger Test von TSMC mit einer NXE:3300B-Maschine ergab einen Durchsatz von rund 15.000 Wafern, was hochgerechnet sehr viel weniger ist, als ASMLs interne Durchläufe ergeben haben. Dort waren es mit einem NXE:3300B- über 1.000 und mit einem NXE:3350B-System über 1.250 Wafer pro Tag. 2016 möchte ASML den Durchsatz auf 1.500 Wafer pro Tag steigern und die Verfügbarkeit der Systeme von gut 70 auf konstant 80 Prozent erhöhen.

  • Erreichte und geplante EUV-Ziele (Bild: ASML)
  • EUV-Roadmap (Bild: ASML)
Erreichte und geplante EUV-Ziele (Bild: ASML)

Da die EUV-Lithographie unter anderem im Vakuum arbeiten muss, ist das Verfahren extrem aufwendig und teuer. Globalfoundries, Intel, Samsung und TSMC werden nach aktuellem Stand ihre 10FF-Technik noch mit Immersionslithographie durchführen, erst beim 7FF-Verfahren dürfte für einige Layer auf extreme ultraviolette Strahlung gesetzt werden. Spätestens der 5FF-Prozess soll mit EUV erfolgen, das ist aber vor allem eine Kostenfrage.

Erste Prozessoren mit 10FF-Technik (Cannonlake) plant Intel für 2017. Es folgt gemäß dem Tick-Tock-Prinzip wahrscheinlich mindestens eine zweite Generation bei gleicher Strukturbreite, eventuell noch ein Refresh.

Bitte aktivieren Sie Javascript.
Oder nutzen Sie das Golem-pur-Angebot
und lesen Golem.de
  • ohne Werbung
  • mit ausgeschaltetem Javascript
  • mit RSS-Volltext-Feed


Anzeige
Spiele-Angebote
  1. 25,99€
  2. Call of Duty: Black Ops Cold War (PC) für 53,99€ (Release 13.11.)
  3. 10,29€

Netzweltler 22. Jan 2016

In der Halbleitertechnik ist so eine Verzögerung schon bemerkenswert. Und eine Nachfolge...

ms (Golem.de) 21. Jan 2016

Da fehlt das Wort "extreme" vor ultra-violett, danke. EUV arbeitet mit 13,5 statt 193...


Folgen Sie uns
       


Differential Privacy: Es bleibt undurchsichtig
Differential Privacy
Es bleibt undurchsichtig

Mit Differential Privacy soll die Privatsphäre von Menschen geschützt werden, obwohl jede Menge persönlicher Daten verarbeitet werden. Häufig sagen Unternehmen aber nicht, wie genau sie das machen.
Von Anna Biselli

  1. Strafverfolgung Google rückt IP-Adressen von Suchanfragen heraus
  2. Datenschutz Millionenbußgeld gegen H&M wegen Ausspähung in Callcenter
  3. Personenkennziffer Bundestagsgutachten zweifelt an Verfassungsmäßigkeit

Corsair K60 RGB Pro im Test: Teuer trotz Viola
Corsair K60 RGB Pro im Test
Teuer trotz Viola

Corsair verwendet in der K60 Pro RGB als erster Hersteller Cherrys neue preiswerte Viola-Switches. Anders als Cherrys günstige MY-Schalter aus den 80ern hinterlassen diese einen weitaus besseren Eindruck bei uns - der Preis der Tastatur hingegen nicht.
Ein Test von Tobias Költzsch

  1. Corsair K100 RGB im Test Das RGB-Monster mit der Lichtschranke
  2. Corsair Externes Touchdisplay ermöglicht schnelle Einstellungen
  3. Corsair One a100 im Test Ryzen-Wasserturm richtig gemacht

IT-Jobs: Die schwierige Suche nach dem richtigen Arbeitgeber
IT-Jobs
Die schwierige Suche nach dem richtigen Arbeitgeber

Nur jeder zweite Arbeitnehmer ist mit seinem Arbeitgeber zufrieden. Das ist fatal, weil Unzufriedenheit krank macht. Deshalb sollte die Suche nach dem passenden Job nicht nur dem Zufall überlassen werden.
Von Peter Ilg

  1. Digitalisierung in Firmen Warum IT-Teams oft übergangen werden
  2. Jobs Unternehmen können offene IT-Stellen immer schwerer besetzen
  3. Gerichtsurteile Wann fristlose Kündigungen für IT-Mitarbeiter rechtens sind

    •  /