Abo
  • Services:
Anzeige
Das bisher aktuelle NXE:3350B-System
Das bisher aktuelle NXE:3350B-System (Bild: ASML)

Fab-Ausrüster: ASML hat sechs Bestellungen für seine neuen EUV-Maschinen

Das bisher aktuelle NXE:3350B-System
Das bisher aktuelle NXE:3350B-System (Bild: ASML)

Die Belichtung von Wafern mit extrem ultravioletter Strahlung für die Serienproduktion von Arbeitsspeichern und Prozessoren wird greifbar: ASML plant, sechs NXE:3400B-Systeme auszuliefern, potenzielle Kunden sind Intel, Samsung und die TSMC.

Der niederländische Ausrüster von Belichtungsmaschinen, ASML, hat die Zahlen für das vierte Quartal 2016 und den Jahresbericht vorgelegt (PDF). Der Umsatz erreichte mit 6,79 Milliarden US-Dollar für die vergangenen zwölf Monate einen neuen Rekord, der Gewinn betrug 1,47 Milliarden US-Dollar. ASML beliefert Auftragsfertiger mit Systemen, um Chips herzustellen. Statt der bisher üblichen Immersionslithographie verlagert sich der Fokus immer weiter auf die kommende Belichtung mit extrem ultravioletter Strahlung (EUV).

Anzeige
  • Das bisher aktuelle NXE:3350B-System (Bild: ASML)
  • Auf das NXE:3350B folgen das NXE:3400B ... (Bild: ASML)
  • ... und später das NXE:3450B. (Bild: ASML)
  • Entwicklung der EUV-Systeme seit 2006 (Bild: ASML)
  • EUV macht Fortschritte. (Bild: ASML)
  • ASLM hat 2016 insgesamt 18 EUV-Systeme verkauft. (Bild: ASML)
Das bisher aktuelle NXE:3350B-System (Bild: ASML)

ASML teilte mit, dass im vierten Quartal 2016 Bestellungen für sechs Belichtungsmaschinen vom Typ NXE:3400B eingegangen seien, die die modernsten seien, welche die Niederländer derzeit ausliefern. Verglichen mit den bisherigen NXE:3350B-Systemen hat ASML unter anderem die Auflösung optimiert, der Wafer-Austoß pro Stunde soll mit 125 Stück aber identisch sein. Die sechs neuen Scanner inkludiert, wurden 2016 insgesamt 18 EUV-Maschinen geordert oder ausgeliefert. 15 davon sind im Betrieb und sollen im vergangenen Jahr über 700.000 Wafer belichtet haben.

Für 7-nm- und 10-nm-Fertigungsverfahren

Geeignet sind die neuen NXE:3400B für Grafikchips oder Prozessoren mit 7-nm-FinFET-Technik, wie sie von allen großen (Auftrags-)Fertigern - Intel, Globalfoundries, Samsung und der TSMC - geplant sind. Für DRAM-Chips gilt, dass die neuen Belichtungsmaschinen für 10-nm-Class-Verfahren gedacht sind, was alles zwischen 10 nm und 19 nm sein kann. Die Hersteller unterscheiden üblicherweise nur grob und sprechen von 1X, 1Y sowie 1Z.

In einem Blogbeitrag erläutert ASML unter anderem, dass ein einzelnes EUV-System satte 180 Tonnen wiegt und in 40 Containern, verteilt auf 20 Lastwagen und drei Flugzeuge, geliefert wird.


eye home zur Startseite
TC 19. Jan 2017

So viel wie wie kleine Insel! ;)



Anzeige

Stellenmarkt
  1. Bosch Service Solutions Magdeburg GmbH, Berlin, Magdeburg
  2. AVM Computersysteme Vertriebs GmbH, Berlin
  3. KPMG AG Wirtschaftsprüfungsgesellschaft, Berlin
  4. NÜRNBERGER Versicherungsgruppe, Nürnberg


Anzeige
Spiele-Angebote
  1. 119,99€ (Vorbesteller-Preisgarantie)
  2. (-56%) 21,99€
  3. 4,99€

Folgen Sie uns
       


  1. MWC Shanghai

    LTE-Technologie erreicht Latenz von unter zwei Millisekunden

  2. Landkreis Plön

    Tele Columbus bringt Gigabit-Zugänge in 15.000 Haushalte

  3. Innovation Days

    Ericsson liefert Basisstation an 5G Lab Germany

  4. Für Lokalsender

    Kabelnetzbetreiber wollen 250 Millionen Euro Rundfunkgebühr

  5. Linux-Kernel-Security

    Torvalds bezeichnet Grsecurity als "Müll"

  6. Zolo Liberty Plus

    Drahtlose Ohrstöpsel auf Kickstarter für nur 100 US-Dollar

  7. Eckpunkte

    Bundesnetzagentur sieht 5G bei 2 GHz und 3.400 bis 3.700 MHz

  8. Internet sofort

    Das Warten auf den Festnetzanschluss kann teuer werden

  9. Ransomware

    Petya-Kampagne nutzt Lücke in Buchhaltungssoftware

  10. 10 GBit/s

    Erste 5G-Endgeräte sind noch einen Kubikmeter groß



Haben wir etwas übersehen?

E-Mail an news@golem.de


Anzeige
Dirt 4 im Test: Vom Fahrschüler zum Rallye-Weltmeister
Dirt 4 im Test
Vom Fahrschüler zum Rallye-Weltmeister

Mesh- und Bridge-Systeme in der Praxis: Mehr WLAN-Access-Points, mehr Spaß
Mesh- und Bridge-Systeme in der Praxis
Mehr WLAN-Access-Points, mehr Spaß
  1. Aruba HPE Indoor-Tracking leicht gemacht
  2. Eero 2.0 Neues Mesh-WLAN-System kann sich auch per Kabel vernetzen
  3. BVG Fast alle Berliner U-Bahnhöfe haben offenes WLAN

Mobile-Games-Auslese: Ninjas, Pyramiden und epische kleine Kämpfe
Mobile-Games-Auslese
Ninjas, Pyramiden und epische kleine Kämpfe
  1. Ubisoft Chaoshasen, Weltraumaffen und die alten Ägypter
  2. Monument Valley 2 im Test Rätselspiel mit viel Atmosphäre und mehr Vielfalt
  3. Mobile-Games-Auslese Weltraumkartoffel und Bilderbuchwanderung für mobile Spieler

  1. Re: " ... verfassungsrechtlich bedenklich ... "

    Shik3i | 03:39

  2. Re: Passender XKCD

    Shik3i | 03:26

  3. Dank Landwohnsitz ...

    Umaru | 02:59

  4. Re: GPL?

    picaschaf | 02:47

  5. Re: Golem Journalismus ist Müll

    strike | 02:29


  1. 18:23

  2. 17:10

  3. 16:17

  4. 14:54

  5. 14:39

  6. 14:13

  7. 13:22

  8. 12:03


  1. Themen
  2. A
  3. B
  4. C
  5. D
  6. E
  7. F
  8. G
  9. H
  10. I
  11. J
  12. K
  13. L
  14. M
  15. N
  16. O
  17. P
  18. Q
  19. R
  20. S
  21. T
  22. U
  23. V
  24. W
  25. X
  26. Y
  27. Z
  28. #
 
    •  / 
    Zum Artikel