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Fab 18: TSMC baut 5-nm-Werk für 17 Milliarden US-Dollar

Der taiwanische Auftragsfertiger TSMC hat den Grundstein für die Fab 18 gelegt. In dem Halbleiterwerk sollen ab 2020 Chips mit 5-nm-Technik produziert werden. Diese nutzt erstmals extrem ultravioelette Strahlung (EUV) für alle Layer.

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Ein Die mit TSMCs 16-nm-Technik
Ein Die mit TSMCs 16-nm-Technik (Bild: OC-Burner)

Die TSMC hat den Grundstein für die Phase #1 der Fab 18 gelegt. Es ist die erste von drei Phasen für ein neues Halbleiterwerk (Semiconductor Fabrication Plant, kurz Fab) im Southern Taiwan Science Park in Taiwan. Geplant ist ab 2020 die Serienfertigung von Chips mit der kommenden 5-nm-Technik kombiniert mit extrem ultravioeletter Strahlung (EUV). Der Hersteller investiert alleine 17 Milliarden US-Dollar in die Fab 18, die Gesamtinvestition für 5 nm soll 24 Milliarden US-Dollar für Forschung und Entwicklung betragen.

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Phase #1 sieht vor, dass in den kommenden Monaten die Gebäude fertiggestellt werden, bevor im ersten Quartal 2019 das Equipment installiert wird. Die Twinscan-Maschinen stammen vom niederländischen Ausrüster ASML, dem Marktführer für Lithografie-Systeme. Anfang 2020 möchte die TSMC in der Fab 18 die Serienfertigung starten, zuvor läuft wie üblich die Risk Production an. Die Phase #2 des Werks soll im dritten Quartal 2018 gebaut werden und die Serienproduktion später 2020 erfolgen. Es folgt die Phase #3 im dritten Quartal 2019, die Massenfertigung soll dann 2021 anlaufen.

Auch die Konkurrenz setzt auf EUV

Mit der Fab 18 möchte die TSMC im Southern Taiwan Science Park rund 4.000 neue Mitarbeiter einstellen, bisher sind an diesem Standort schon 10.000 Menschen bei dem Auftragsfertiger beschäftigt. Das Halbleiterwerk belichtet 300-mm-Wafer und soll einen Ausstoß von mindestens einer Millionen Siliziumscheiben pro Jahr erreichen, sobald alle drei Phasen abgeschlossen sind.

Im Southern Taiwan Science Park der Fab 18 soll später auch Werke für die 3-nm-Technik gebaut werden.

Konkurrent Samsung hatte im Spätsommer 2017 bekanntgegeben, dass die Fab S3 im südkoreanischen Hwaseong für 5,2 Milliarden US-Dollar aufgerüstet wird. Dort soll auch Equipment für eine Belichtung mit extrem ultravioletter Strahlung (EUV) eingesetzt werden.

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Lasse Bierstrom 27. Jan 2018

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