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EUV-Lithographie: ASML kauft Laserentwickler Cymer

Um die Belichtung von Halbleitern mittels Röntgenstrahlen endlich marktreif zu machen, kauft ASML die kalifornische Laserfirma Cymer. Die Transaktion wird insgesamt ein Volumen von 1,95 Milliarden Euro erreichen.

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EUV-Lithographie: ASML kauft Laserentwickler Cymer
(Bild: Robin van Lonkhuijsen/Reuters)

Der niederländische Ausrüster von Chipfabriken, ASML, hat ein Angebot für das Unternehmen Cymer abgegeben. Wenn die Aktionäre dem zustimmen, sollen sie für eine Cymer-Aktie 1,1502 Anteile von ASML sowie 20 US-Dollar erhalten. Insgesamt könnte die Übernahme so 1,95 Milliarden Euro kosten, teilt AMSL mit.

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Das niederländische Unternehmen ist einer der führenden Zulieferer für die Halbleiterherstellung. Die Maschinen von ASML, die nur auf Anfrage gebaut werden, finden sich bei allen namhaften Chipherstellern, insbesondere die Lithographiegeräte für die Belichtung von integrierten Schaltungen von ASML sind beliebt. Dafür sind in Zukunft immer kurzwelligere Lichtquellen nötig, um die Verkleinerung der Schaltung nach Moores Law aufrechtzuerhalten.

Cymer, das besonders kurzwellige Laser herstellt, ist wiederum ein Lieferant für die Hersteller von Belichtungsgeräten und verkauft seine Produkte unter anderem an ASML. Die Transaktion soll in der ersten Hälfte des Jahres 2013 abgeschlossen sein.

EUV soll endlich marktreif werden

Von der Übernahme verspricht sich ASML eine Beschleunigung der Entwicklung der EUV-Lithographie. Das Kürzel steht für "extreme ultra-violet" und ist eigentlich ein Euphemismus. Mit Wellenlängen deutlich unter 15 Nanometern operiert EUV schon im Bereich von Röntgenstrahlung.

Da dafür nicht nur technische Aspekte, sondern auch ein Schutz von Maschinen und Mitarbeitern vor der Strahlung nötig sind, kommt die Technik seit Jahren nicht in Schwung. Im Jahr 2004 ging beispielsweise Intel noch davon aus, dass EUV für Strukturbreiten unterhalb von 30 Nanometern nötig sei, 2010 sagte das Unternehmen dann, auch 15 Nanometer seien ohne EUV machbar. Irgendwann wird die Röntgenbelichtung aber unvermeidbar werden, und ASML gilt als eines der Unternehmen, das die Technik serienreif machen kann. Daher hat auch Intel vor kurzem 15 Prozent von ASML übernommen.

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