DIY: Halbleiterfertigung in der Garage? Geht, aber ...
Halbleiterfertigung zu Hause ist möglich, die Grenzen sind aber schnell erreicht. Ein kurzer Überblick über die Möglichkeiten von DIY.
In regelmäßigen, wenn auch größeren Abständen machen Hobbyprojekte Schlagzeilen, in denen Halbleiter zu Hause selbst hergestellt werden. Jüngst hat es ein Youtuber geschafft, der in seiner Gartenhütte einen Reinraum eingerichtet hat. Das ist nicht nur sinnlose Spielerei – Halbleiterfertigung ist auch im privaten Umfeld möglich. Es gibt dazu sogar eine Anleitung bei Instructables(öffnet im neuen Fenster).
Viele der benötigten Maschinen sind trotz kompliziert klingender Namen eigentlich recht einfach. Als Spin Coater zum Auftragen eines dünnen Films aus Maskenmaterial oder Chemikalien zur Dotierung genügt etwa ein PC-Lüfter. Der Wafer muss einfach nur schnell – aber nicht zu schnell – gedreht werden, den Rest erledigt die Physik.