Abo
  • IT-Karriere:

Chipmaschinenausrüster: ASML demonstriert 250-Watt-EUV-System

Bis zu 125 Wafer pro Stunde: ASML hat mit einer Twinscan-Maschine eine Strahlungsleistung von 250 Watt erreicht. Das ist wichtig für die extrem ultraviolette Belichtung, die beim 7-nm-Verfahren von Chipfertigern eingesetzt wird.

Artikel veröffentlicht am ,
Ein Twinscan NXE:3400B
Ein Twinscan NXE:3400B (Bild: ASML)

Der niederländische Lithografie-Ausrüster ASML hat ein System gezeigt, das mit extrem ultravioletter Strahlung arbeitet und erstmals eine Quelle mit 250 Watt verwendet. Im Forschungslabor im kalifornischen San Diego erreichte AMSL mit einer aktuellen Maschine vom Typ Twinscan NXE:3400B die entsprechende Photonen-Energie, was einen wichtiger Schritt für die EUV-basierte Fertigung von Mikrochips mit kommenden 7-nm-Nodes darstellt.

Stellenmarkt
  1. SICK AG, Waldkirch bei Freiburg im Breisgau
  2. Viega Holding GmbH & Co. KG, Attendorn

Mit den 250 Watt Strahlungsleistung hat AMSL eine Twinscan NXE:3400B im Hauptquartier in Veldhoven bestückt und demonstrierte den seit langer Zeit in Aussicht gestellten Durchsatz von 125 pro Stunde belichteten Wafern. Wie aus den Zahlen des zweiten Quartals 2017 hervorgeht, hat der Ausrüster bisher 27 EUV-Systeme an Partner wie Intel, Globalfoundries, Samsung und die TSMC ausgeliefert. Drei Twinscan NXE:3400B wurden im vergangenen Dreimonatezeitraum verschickt und acht neue bestellt. Sechs davon sind für Hersteller gedacht, die damit DRAM und Logik fertigen wollen.

Alle großen Hersteller nutzen EUV

Für DRAM ist der Einsatz der Maschinen für das 10-nm-Class-Verfahren gedacht, was alles zwischen 10 nm und 19 nm sein kann. Die Fertiger unterscheiden üblicherweise nur grob und sprechen von 1X, 1Y sowie 1Z. Im Falle von CPUs, GPUs oder SoCs wird extrem ultraviolette Strahlung seitens Intel für den 7-nm-Node verwendet, weshalb die Fab 42 in Chandler im US-Bundesstaat Arizona für sieben Milliarden US-Dollar umgerüstet wird.

Globalfoundries wird EVU für einige Layer bei der 7LP-Belichtung (Leading Performance) verwenden, Samsung setzt die Strahlung ab dem 7LPP-Verfahren (Low Power Plus) ein. Die TSMC plant EVU für den 7+ Prozess.



Anzeige
Hardware-Angebote
  1. 83,90€
  2. (u. a. Grafikkarten, Monitore, Mainboards)
  3. 177,90€ + Versand (Bestpreis!)
  4. 299,00€

Eheran 27. Jul 2017

Ein Ultrahochvakuum von 10^-10mbar hat etwa 10^12 Teilchen pro m³. Kein künstlich...


Folgen Sie uns
       


Motorola One Vision im Hands on: Smartphone mit 48-Megapixel-Kamera für 300 Euro
Motorola One Vision im Hands on
Smartphone mit 48-Megapixel-Kamera für 300 Euro

Motorola bringt ein weiteres Android-One-Smartphone auf den Markt. Die Neuvorstellung verwendet viel Samsung-Technik und hat ein sehr schmales Display. Die technischen Daten sind für diese Preisklasse vielversprechend.
Ein Hands on von Ingo Pakalski

  1. Moto G7 Power Lenovos neues Motorola-Smartphone hat einen großen Akku
  2. Smartphones Lenovo leakt neue Moto-G7-Serie

e.Go Life: Ein Auto, das lächelt
e.Go Life
Ein Auto, das lächelt

Das Auto ist zwar klein, bringt aber sogar gestandene Rennfahrer ins Schwärmen: Das Aachener Unternehmen e.Go Mobile hat seine ersten Elektroautos ausgeliefert. In einer Probefahrt erweist sich der Kleinwagen als sehr dynamisch.
Ein Bericht von Werner Pluta

  1. Elektroauto Opel Corsa-e soll 330 Kilometer weit kommen
  2. Elektroauto Skoda Citigo e iV soll 265 km weit fahren
  3. Eon-Studie Netzausbau kostet maximal 400 Euro pro Elektroauto

Recycling: Die Plastikfischer
Recycling
Die Plastikfischer

Millionen Tonnen Kunststoff landen jedes Jahr im Meer. Müllschlucker, die das Material einsammeln, sind bislang wenig erfolgreich. Eine schwimmende Recycling-Fabrik, die die wichtigsten Häfen anläuft, könnte helfen, das Problem zu lösen.
Ein Bericht von Daniel Hautmann

  1. Elektroautos Audi verbündet sich mit Partner für Akkurecycling
  2. Urban Mining Wie aus alten Platinen wieder Kupfer wird

    •  /