Chipmangel & Maschinen: Lange Lieferzeiten bei Ausrüstung für Chipfabriken

Die Lieferzeiten für Maschinen zur Chipproduktion steigen und könnten neue Fabs verzögern. Schuld ist auch die Chipknappheit.

Artikel veröffentlicht am 12. April 2022, 14:33 Uhr, Johannes Hiltscher

Bei Maschinen für die Chipfertigung wie dieser Belichtungsmaschine von ASML sind die Lieferzeiten deutlich gestiegen. (Bild: ASML)

Um die steigende Nachfrage nach Chips zu decken, bauen die Halbleiterfertiger neue Fabs. Deren Start könnte sich allerdings verzögern, da die Hersteller der benötigten Maschinen diese nicht zeitnah liefern können.

Wie Nikkei Asia berichtet, stiegen die Lieferzeiten von wenigen Monaten 2019 auf aktuell oft weit über ein Jahr. Bereits im vergangenen März wurde bekannt, dass ASML, der wichtigste Hersteller von Belichtungsmaschinen, deutlich länger braucht, um diese zu liefern.

Grund sind oft Verzögerungen in der Lieferkette. ASML wartet auf Optiken von Zeiss, insgesamt sind aber wesentlich mehr Komponenten betroffen. Nikkei Asia nennt unter anderem Ventile, Pumpen und Schrauben als Bauteile mit besonders langer Wartezeit. Und natürlich sind auch die Fab-Ausrüster von den langen Lieferzeiten für Halbleiter betroffen: Den Maschinen, die Chips herstellen, fehlen ebenfalls die Chips.

Nur wenige Anbieter am Markt

Bei mechanischen Komponenten sind die hohen Ansprüche, die Komponenten erfüllen müssen, oft ein Problem. In Verbindung mit dem verhältnismäßig geringen Umsatz der Fab-Ausrüster führt dies dazu, dass es nur wenige Anbieter gibt.

Neben Zeiss nennt der Bericht die japanische Firma Iwaki. Sie liefert Chemikalienpumpen, die teils sehr aggressiven Substanzen ausgesetzt sind. Eine weitere Lieferkette aufzubauen, dauert aufgrund der hohen Anforderungen lange, schließlich müssen die verbauten Teile auch verlässlich funktionieren. Teils leiden die Zulieferer auch selbst unter Materialengpässen.

Zulieferer scheuen Produktionsausweitung

Laut Nikkei Asia scheuen sich darüber hinaus viele der Zulieferer, die Produktion auszuweiten. Langfristig könnte sich das als sinnvoll erweisen, da Analysten dem Bericht zufolge unsicher sind, ob die aktuell hohe Nachfrage ein Trend ist. Sollte sie nachlassen, lägen die neu aufgebauten Kapazitäten brach.

Damit befinden sich die Maschinenhersteller aktuell in einer Zwickmühle: Die Fab-Betreiber bestellen mehr Maschinen, seitens der Zulieferer steigen die Lieferzeiten. So können die Ausrüster ihre Produktion ebenfalls kaum steigern und müssen die Lieferzeiten ebenfalls erhöhen.

Die Verzögerungen betreffen nicht ausschließlich Maschinen, die direkt für die Halbleiterproduktion benötigt werden. Damit aus dem Die ein verlötbarer Chip wird, ist meist noch ein Package erforderlich. Und hier sind die Lieferverzögerungen laut Nikkei Asia besonders groß: bis zu 30 Monate für Maschinen zur Herstellung von Substraten, kleinen Platinen, auf die Halbleiter montiert werden. Eine Entspannung bei der Liefersituation von Halbleitern könnte sich noch weiter verzögern - nach Einschätzung von ASML bis 2024.