Auftragsfertiger: TSMC verkündet Tape-out des ersten 7-nm-EUV-Chips

Der weltweit größte Auftragsfertiger hat die ersten Masken für einen Chip mit 7 nm und EUV erhalten. Allerdings nutzt die TSMC die extrem ultraviolette Strahlung nur für ein paar Layer, alle anderen werden mit herkömmlicher Lithografie hergestellt. Pläne für 5 nm gibt es ebenfalls.

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Ein älterer Wafer mit Silverthorne-Atoms
Ein älterer Wafer mit Silverthorne-Atoms (Bild: Intel)

Die Taiwan Semiconductor Manufacturing Company (TSMC) hat den Tape-out des ersten Chips mit 7 nm und EUV verkündet. Um welchen Kunden es dabei geht, verriet der Auftragsfertiger auf dem OIP Ecosystem Forum allerdings nicht. Der N7+ genannte Node ist TSMCs erster, der extrem ultraviolette Strahlung für bis zu vier Layer verwendet, aus denen ein Chip besteht - üblich sind meist rund ein Dutzend. Die Maschinen für EUV kosten zwar sehr viel, dafür verringert sich die Anzahl der nötigen Masken und Prozessschritte, was dann wieder Zeit und somit schlussendlich Geld spart.

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Eigentlich war EUV schon vor einem Jahrzehnt für die Fertigung geplant, so wollte Intel die mit 13,5 nm Wellenlänge arbeitende Belichtung beim 32-nm-Verfahren und somit bereits 2009 einsetzen, daraus wurde aber auch bei 22 nm, bei 14 nm und bei 10 nm nichts. Gerade letzterer Prozess ist für Intel ein Ärgernis, da er noch auf Immersionslithografie setzt, aufgrund von Self-Aligned Quad-Patterning allerdings extrem aufwendig und fehleranfällig ist. Die Chip-Ausbeute mit 10 nm fällt so gering aus, dass es mit dem Core i3-8121U (Cannon Lake) bisher nur einen Dualcore mit deaktivierter Grafik gibt.

Nach dem N7+ wird die TSMC den N5 anbieten, dieses 5-nm-Verfahren soll 14 Layer mit EUV bestrahlen können. Der Auftragsfertiger peilt die Risk-Production für Frühling 2019 an, der Node soll vor allem bei der Transistordichte einen Vorteil bringen. Intel wird EUV bei 10+ nm überspringen und bei 7 nm einsetzen, Samsung arbeitet bei 7LPP (Low Power Plus) ebenfalls mit 7 nm mit EUV - noch läuft die Fertigung aber nicht. Globalfoundries wird keine extrem ultraviolette Strahlung verwenden, denn 7 nm wurde gestoppt.

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