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Auftragsfertiger: TSMC startet 5-nm-Risk-Production

Wer früh dabei sein will, für den bietet TSMC die Vorserienfertigung von Chips im 5-nm-Verfahren mit extrem-ultravioletter Belichtung (EUV) an. Das passende Werk, die Fab 18, hat sehr viele Milliarden US-Dollar gekostet.

Artikel veröffentlicht am ,
Ein älterer 300-mm-Wafer
Ein älterer 300-mm-Wafer (Bild: TSMC)

Die Taiwan Semiconductor Manufacturing Company (TSMC), der größte Halbleiter-Auftragsfertiger der Welt, hat den Start der 5-nm-Risk-Production bekanntgegeben, also die Vorserienproduktion mit geringer Chipausbeute für risikofreudige Kunden. Der Hersteller selbst spricht von N5 (Node 5 nm) und verwendet extrem-ultravioletter Belichtung (EUV) statt klassischer Immersionslithografie. Das 5-nm-Verfahren soll, verglichen mit dem 7-nm-DUV-Prozess (N7), eine rund 80 Prozent höhere Transistordichte und eine um 15 Prozent gestiegene Schaltgeschwindigkeit aufweisen. Es können über zehn Layer mit EUV bearbeitet werden.

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Neben der N5- und der N7(P)-Variante gibt es noch einen Zwischenschritt namens N7+, bei welchem nur für bis zu vier kritische Schichten eines Chips mit EUV belichtet werden. Einer der Kunden für N7+ soll Apple sein, der kommende A13-Chip für die nächste iPhone-Generation dürfte damit hergestellt werden. Laut TSMC soll die Serienfertigung von Designs mit dem 7-nm-EUV-Verfahren bereits angelaufen sein, wenngleich wie üblich die Partner nicht explizit genannt werden. Ein weiterer Kunde soll unter anderem Huawei/Hisilicon für die Kirin-Smartphone-Chips sein.

Für den N5-Prozess hatte TSMC ein neues Halbleiterwerk, die Fab 18, gebaut: Die Semiconductor Fabrication Plant kostet 17 Milliarden US-Dollar, wobei in der ersten Phase das Gebäude fertiggestellt und danach in der zweiten Phase das Equipment installiert wurde. Die Twinscan-Maschinen stammen vom niederländischen Ausrüster ASML, dem Marktführer für Lithografie-Systeme. Anfang 2020 will TSMC in der Fab 18 die Serienfertigung des N5-Prozesses starten.

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FactCheck 06. Apr 2019

Sie bestehen aber weiterhin aus denselben Materialen korrekt? Mit der neuen Technologie...

bla 05. Apr 2019

Beim AMD-Werk damals in Dresden gab es einen Raum mit einem Elektronenrastermikroskop der...

barforbarfoo 05. Apr 2019

Oder kommt GAA später?

Sharra 05. Apr 2019

Schon klar, aber irgendwie ergibt sich das ja auch von selbst.

Quantium40 05. Apr 2019

Es sind nicht 15% mehr Rechengeschwindigkeit, sondern die Schaltgeschwindigkeit der...


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