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Auftragsfertiger: Samsung startet 7LPP-Herstellung mit EUV

In Südkorea wurde die Serienfertigung mit 7-nm-Technik und extrem ultra-violetter Strahlung gestartet. Samsungs 7LPP soll deutlich kleinere sowie schnellere und sparsamere Chips ermöglichen, ein Partner ist Qualcomm. Passende Hardware liefert der niederländische Ausrüster ASML.

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Samsung kündigt die Serienfertigung von 7LPP an
Samsung kündigt die Serienfertigung von 7LPP an (Bild: Samsung)

Samsung hat die frühe Massenproduktion von Wafern basierend auf dem 7LPP-Verfahren mit EUV begonnen. Das gaben die Südkoreaner auf dem Tech Day im kalifornischen San Jose bekannt. Hinter 7LPP verbirgt sich mit 7 nm Low Power Plus ein Node, bei welchem einige Schichten der damit hergestellten Chips mit extrem ultra-violetter Strahlung statt mit klassischer Immersionslithografie belichtet werden. Die Vorteile von 7LPP sind mannigfaltig.

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Laut dem südkoreanischen Auftragsfertiger soll das Verfahren verglichen mit 10LPE (10 nm Low Power Early) - nicht dem besseren 10LPP oder gar 8LPP! - um bis zu 40 Prozent kleinere Dies ermöglichen. Zudem soll die Schaltgeschwindigkeit um 20 Prozent steigen oder die Leistungsaufnahme um 50 Prozent sinken. Durch EUV kann überdies die Anzahl der Masken und Arbeitsschritte reduziert werden, was Kostenvorteile für Kunden haben soll. Einer davon ist Qualcomm, denn der Snapdragon-Entwickler wird kommende 5G-SoCs bei Samsung mit 7LPP produzieren lassen.

Die Maschinen für EUV stammen von ASML aus den Niederlanden, sie werden in der Fab S3 in Hwaseong eingesetzt. Die neuen NXE:3400C sollen über 155 Wafer pro Stunde verarbeiten können, bisher waren es 125 in der Stunde mit den NXE:3400B. Für das reguläre 7-nm-Verfahren wie es die TSMC, der weltgrößte Fertiger, etwa für Apples A12-Chip verwendet, gibt es mit dem NXT:2000i neue Systeme mit mehr Durchsatz.

Samsungs Roadmap sieht neben 7LPP noch das vor einigen Wochen angekündigte 8LPU (Low Power Ultimate) vor. Der Node basiert auf 10LPP, hat aber Vorteile von 10 Prozent bei der Transistordichte und 10 Prozent bei der Leistungsaufnahme, was wiederum optional einen höheren Takt bedeuten kann. Die TSMC hat laut eigener Aussage zumindest schon einen Tape-out des ersten 7-nm-EUV-Chips, ist diesbezüglich also offenbar später dran als Samsung.

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