ASML und HMI: Neue 3,1-Milliarden-US-Dollar-Übernahme in der Chipbranche

Der Fab-Ausrüster ASML kauft einen Konkurrenten, um sein Angebot zu vergrößern. "Die Zeiten von Punktlösungen sind vorbei. Wir brauchen integrierte Lösungen", begründet der ASML-Chef den Milliardendeal für die Prüftechnologie von Wafern.

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eScan von HMI
eScan von HMI (Bild: HMI)

Der Chipmaschinenausrüster ASML kauft Hermes Microvision Inc. (HMI) für 3,1 Milliarden US-Dollar. Das gab das niederländische Unternehmen ASML am 16. Juni 2016 bekannt. Nach den Worten von ASML-Chef Peter Wenninck wachsen die Anforderungen. "Die Zeiten von Punktlösungen sind vorbei. Wir brauchen integrierte Lösungen."

HMI hat sich auf das Prüfen von Wafern spezialisiert: Die Taiwaner testen mit speziellen Rasterelektronenmikroskop-Verfahren nach der Belichtung, ob elektrische oder physikalische Defekte auf den Siliziumscheiben vorhanden sind. HMI unterstützt Nodes von 90 nm bis 16FF, die Arbeiten an 10FF bis 7FF sind im Gange. Dazu gehören Prüfungen von Wafern, die per Immersionslithographie und der kommenden extrem ultravioletten Strahlung (EUV) belichtet werden. Die Rasterelektronenmikroskop-Verfahren von HMI sollen ASMLs Start von EUV beschleunigen, geplant ist die breite Verfügbarkeit von Tools ab 2018.

Noch werden die Chips für Arbeitsspeicher, Grafikkarten und Prozessoren mit Immersionslithographie gefertigt. Künftig soll die EUV-Lithographie mit extremer ultravioletter Strahlung (Extreme Ultra Violet) verwendet werden.

Je größer, desto besser

"Je größer, desto besser", sagte Steve Huang, Chip-Analyst Yuanta Investment Consulting, der Nachrichtenagentur Reuters.

ASML ist Weltmarktführer und liefert seine Technologie an Kunden wie Intel, Samsung Electronics oder Taiwan Semiconductor Manufacturing Co (TSMC).

ASML zahlt einen Preis für die HMI-Aktie, der 17 Prozent über dem Schlusskurs vom vergangenen Handelstag liegt. Die Übernahme wird durch einen Kredit in Höhe von 1,69 Milliarden US-Dollar finanziert. Die Übernahme soll im vierten Quartal 2016 abgeschlossen werden. Als beratende Banken waren Goldman Sachs und Credit Suisse aktiv.

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