ASML & Halbleiterfertigung: Bestellrekord bei Chip-Belichtungsmaschinen

ASML verzeichnet einen Umsatzsprung und Bestellungen in Rekordhöhe. EUV-Belichter sind stark nachgefragt, mit High-NA geht es voran.

Artikel veröffentlicht am , Johannes Hiltscher
Eine Belichtungsmaschine von ASML wird zum Transport in ein Flugzeug verladen.
Eine Belichtungsmaschine von ASML wird zum Transport in ein Flugzeug verladen. (Bild: ASML)

Für das niederländische Unternehmen ASML, größter Hersteller von Belichtungsmaschinen zur Halbleiterfertigung, sind die Quartalszahlen eigentlich immer ein Grund zur Freude. Die am 20. Juli 2022 vorgestellten Zahlen für das zweite Quartal des Jahres sind aber auch für ASML besonders: Der Bestelleingang erreichte mit knapp 8,5 Milliarden Euro einen Rekord.

Mit 5,4 Milliarden Euro machen Geräte, die mit extrem ultraviolettem (EUV) Licht arbeiten, rein vom Wert den Großteil der Bestellungen aus. Sie sind allerdings auch deutlich teurer als ihre Vorläufer mit Licht im Fern-Ultraviolett-Bereich (DUV). Auch diese verkauft ASML weiter erfolgreich und entwickelt sie weiter, um mehr Wafer belichten zu können. DUV-Belichtung ist bei älteren Fertigungsprozessen etwa mit Strukturgrößen ab 10 nm Standard. Diese machen den Großteil der Fertigung aus, die Kapazitäten werden hier noch immer ausgebaut.

Neben den betriebswirtschaftlichen Zahlen geht eine spannende Information fast unter: ASML erhielt die erste Optik und Lichtquelle für kommende EUV-Maschinen mit einer numerischen Apertur von 0,55 (High-NA). Damit wird der erste Prototyp aufgebaut - verkauft werden die Systeme bereits. Sie werden für Prozessknoten unter 2 nm benötigt, einige Hersteller könnten sie bereits früher einsetzen.

Mit Expresslieferung soll die Produktion steigen

Zuletzt hatte ASML Probleme, die bestellten Maschinen auszuliefern. Der Grund dafür waren Lieferengpässe bei Zulieferern. Das Problem sollen nun die sogenannten Fast Shipments - also Expresslieferungen - beheben. Dabei werden die Maschinen nicht wie üblich bei ASML montiert und getestet, sondern direkt beim Kunden aufgebaut und in Betrieb genommen.

Das hat den Vorteil, dass Teile direkt zum Kunden bestellt werden können. Damit überlappen sich die Transportzeiten, der Kunde hat zudem sofort Zugriff auf die Maschine, und die Inbetriebnahme kann direkt erfolgen. Für ASML haben die Expresslieferungen allerdings den Nachteil, dass die Abnahme nicht vor der Auslieferung, sondern erst beim Kunden erfolgt. Das verzögert die Zahlung, weshalb das Unternehmen davon ausgeht, dass ein Umsatz von 2,8 Milliarden Euro erst 2023 in den Büchern auftaucht - obwohl er 2022 erwirtschaftet wurde.

Umsatz und Gewinn wachsen, Ausblick bleibt positiv

Wie erwartet normalisierten sich die Unternehmenszahlen nach einem schwachen ersten Quartal. Der Umsatz lag im zweiten Quartal 2022 mit 5,4 Milliarden Euro sogar leicht über den Erwartungen. ASML konnte wieder deutlich mehr Maschinen ausliefern - nach 59 im ersten Quartal waren es im zweiten 83. Die Gewinnmarge liegt unverändert bei 49 Prozent - kein unüblicher Wert in der Halbleiterindustrie. Da das Unternehmen weiterhin Aktien zurückkauft, lag der realisierte Gewinn bei 1,4 Milliarden Euro.

Für den Rest des Jahres 2022 bleiben die Erwartungen unverändert. Erwartet wird ein Umsatzwachstum von 10 Prozent, im kommenden dritten Quartal rechnet man ebenfalls mit einem Umsatz von 5,4 Milliarden Euro. Von einem Rückgang der Chipnachfrage merkt ASML noch nichts. Laut Pressemitteilungen betrifft dies Konsumgüter, während die Nachfrage beispielsweise des Automobilsektors ungebrochen sei. Und was ASMLs Maschinen belichten, ist letztendlich egal.

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