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Motorola baut 0,1- Micron-Chip

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Der Halbleitersektor von Motorola hat die ersten, nur 0,1 µm (100 Nanometern) großen , Halbleiterstrukturen mit einem 0,18 µm-Standardprozeß realisiert. Dieser technologische Erfolg löst das vordringliche Problem der Halbleiterhersteller, sogenannte "Subwavelength"-ICs zu entwickeln und zu produzieren. Diese sind integrierte Schaltungen mit Strukturen, die kleiner sind als die Wellenlänge der optischen Lithographiesysteme, mit denen die Designs auf die Silizium-Wafer projiziert werden.

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Zugleich ist Motorola eine strategische Allianz mit Numerical Technologies in Santa Clara, eingegangen, mit dem Ziel der Entwicklung und Herstellung von "Subwavelength"-ICs.

Die Herstellung des 0,1 µm-Mikroprozessors gelang mit Hilfe der Phasenverschiebungs- und OPC (Optical Proximity Correction)-Technologie von NTI in Verbindung mit MotorolasProduktionsverfahren. Motorola hat die Software von NTI mittlerweile in seine Entwicklungs- und Produktionsprozesse für Serienprodukte integriert und will sie zur Herstellung weiterer "Subwavelength"-ICs nutzen.

"Durch unsere Allianz mit Numerical Technologies können wir Logikschaltungen mit leistungsfähigen Transistoren, die auf Subwavelength-Gattern basieren, standardmäßig herstellen", sagt Fabio Pintchovski, Vice President Motorolas Advanced Products Research and Development Laboratory. "Noch bedeutender ist, daß wir mit der heutigen Generation von Produktionswerkzeugen bereits Resultate für die nächste Schaltungs-Generation erzielen können. Damit festigen wir unsere Führungsposition bei Embedded-DigitalDNA-Lösungen zum Vorteil der Kunden."

Pintchovski weist darauf hin, daß der neue Herstellungsprozeß eine wesentliche Verbesserung gegenüber dem bisherigen Industriestandard von 0,18 µm darstellt und die Realisierung kleinerer Chips für Hochleistungsprozessoren wie die PowerPC-Familie möglich macht. Warren D. Grobman, Leiter von Motorolas Computational Technologies Laboratory, ergänzt: "Wir haben mit innovativer Phasenverschiebungstechnologie erfolgreich einen der komplexesten Prozessoren der Welt, den PowerPC, mit 0,1 µm Strukturgröße realisiert. Die ersten Resultate mit der NTI-Technologie und den Algorithmen von Motorola beweisen, daß die Phasenverschiebung und das OPC-Verfahren erfolgreich für die Herstellung hochentwickelter Produkte mit hohen Transistorzahlen eingesetzt werden und die Ausbeute und die Leistung dieser ICs verbessern können."



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