Polymere formen Maske direkt auf Silizium

Dabei setzen die Wissenschaftler Polymere ein. Diese Ketten aus gleichförmigen Molekülen lassen sich inzwischen auch zu Copolymeren verknüpfen, die sich aber nicht dauerhaft verbinden. Diese Eigenschaft nutzt das MIT, um Strukturen herzustellen.

Die Copolymere werden dabei gezielt an Siliziumstrukturen angelagert, die zuvor per Elektronenstrahl gebaut wurden. Wie eine Schnur um eine Reihe von Pfosten bilden die Polymere dann Verbindungen. Über die Längen der jeweiligen Ketten kann dabei vorher bestimmt werden, welche Wege die Ketten bilden - ein vorher geplanter Schaltplan baut sich so quasi selbst.

Plasma erzeugt finale Struktur

Um sie fertigzustellen, wird eines der Polymere schließlich von einem Plasma verbrannt, das andere verwandelt sich dabei zu Glas. Dies wiederum stellt dann die Schutzschicht für einen Ätzvorgang dar, mit dem die endgültige Schaltung aus dem darunterliegenden Silizium hergestellt wird.

Aus der Beschreibung des MIT geht nicht hervor, wie klein die damit möglichen Strukturbreiten sind. Doch das Team um die Forscher Caroline Ross und Karl Berggren arbeitet derzeit an einer Verkleinerung der Strukturen. Allzu winzig dürften sie also noch nicht sein, was zeitlich nicht ins Gewicht fällt: Die bereits in Entwicklung befindlichen 16-Nanometer-Chips sollen frühestens in drei Jahren marktreif sein.

Ihre Ergebnisse haben die Wissenschaftler auch im Magazin "Nature Nanotechnology" veröffentlicht.