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Fab-Tour: In der Wiege der Phenoms

Automatische Produktion mit Wafer-Eisenbahn

Im Prinzip läuft die Produktion der Wafer vollautomatisch ab. Die kostbaren Scheiben werden von "Vehicles" im Paket von Tool zu Tool gebracht. Diese Wägelchen werden über ein Schienensystem an der Decke transportiert und können sich mit bis zu zwei Metern pro Sekunde bewegen. Das Schienensystem verfügt über Weichen, Umkehrpunkte und Wartebereiche - ganz wie bei einer Modelleisenbahn.

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Im Inneren der Vehikel haben die Wafer eine nochmals reinere Atmosphäre als im Reinraum selbst. Dieser ist nach Klasse 100 ausgelegt, es gibt also pro Quadratfuß maximal 100 Partikel. In den Vehikeln und den Tools selbst ist es stets nur ein Partikel, oder Klasse 1.

Schon um Klasse 100 zu erreichen, muss die Luft des gesamten Reinraums 80-mal pro Stunde ausgetauscht werden. Die Lüftung sorgt dabei für ein konstantes Geräusch, das selbst die Tools und das Transportsystem übertönt. Das dürfte wesentlich zum Stressfaktor für die Arbeiter in den Reinräumen beitragen.

Arbeiter im Kupferbereich mit roter Markierung
Arbeiter im Kupferbereich mit roter Markierung
Die größten der Tools sind die "Stepper", in denen die einzelnen Lagen der Chips hergestellt werden. Bis zu 50 Schritte, oder Steps, kann ein Stepper durchführen. Die Geräte haben das Format eines Kleinbusses und kosten je nach Ausführung zwischen 20 und 40 Millionen US-Dollar. Neben der Infrastruktur der Fab selbst sind diese Tools ein wesentlicher Grund, warum eine moderne Halbleiterfabrik nicht mehr unter 2 Milliarden US-Dollar zu bauen ist - und auch nicht ohne staatliche Förderung, wie das auch in Dresden der Fall war. Dafür gibt es nun 2.600 Arbeitsplätze, 700 davon sind von Hochschulabsolventen besetzt.

Gelbe Beleuchtung im Litho-Bereich
Gelbe Beleuchtung im Litho-Bereich
Eine Besonderheit der Fab 1 ist die Verwendung von Kupfer. Das Edelmetall kann Silizium leicht verunreinigen, auch wenn nur feinste Stäube in ein Tool gelangen. Deshalb tragen die Arbeiter, die im Kupferbereich arbeiten, rote Markierungen an ihren Anzügen: Sie dürfen nicht in andere Bereiche der Fabrik.

Die auf einigen Bildern zu sehende gelbe Beleuchtung ist ein Standardverfahren für die Bereiche, in denen belichtet wird. Weißes Licht, also mit einem umfassenderen Spektrum, könnte einige der Materialen wie Fotolacke zum vorzeitigen Reagieren bringen, was es zu vermeiden gilt. In anderen Zonen der Fab 1 gibt es jedoch sogar Fenster mit Blick auf die ländliche Umgebung von Dresden. Angesichts der sonst vorherrschenden grellen Neonbeleuchtung ist das fast schon Luxus.

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Lorelai 14. Nov 2009

Das kann ich mir vorstellen. Auch von mir ein großes Dankeschön! Chocolate? * Regards...

WilliWonker 13. Nov 2009

(hihi)

Anonym0us 13. Nov 2009

RULES 1+2 newfags =)

dread 12. Nov 2009

Außerdem ist direkt schreiben für ein Massenprodukt nicht nötig, weswegen der nächste gro...

Hmmmmmmmmm 12. Nov 2009

FAIL! Schweiz gehört nicht zur EU! Aber die EU ist etwas anderes als Europa!


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