Jenoptik verkauft Anteile an Chip-Lithographen Xtreme

Standort in Jena wird geschlossen

Jenoptik hat ihren 50-Prozent-Anteil an dem Verlustbringer Xtreme Technologies an den japanischen Ushio-Konzern verkauft. "Der Standort in Jena wird geschlossen, davon sind 20 Mitarbeiter betroffen", sagte Firmensprecherin Katrin Lauterbach auf Anfrage gegenüber Golem.de.

Artikel veröffentlicht am 23. Mai 2008, 19:51 Uhr, Achim Sawall

"Die Mehrheit erhält aber bei Jenoptik einen neuen Arbeitsplatz. Ganz wenige sind ausgeschieden", erklärte Lauterbach weiter. Ushio, zuvor mit 50 Prozent an dem Forschungsunternehmen mit Standorten in Göttingen und Jena beteiligt, wird damit zum alleinigen Gesellschafter. Über den Kaufpreis für die Anteile an der GmbH haben die Parteien Stillschweigen vereinbart. Was aus dem zweiten Standort in Göttingen wird, war aus Jena nicht zu erfahren.

Wegen "geringer Synergiepotenziale zum Portfolio" des Konzerns habe Firmenchef Michael Mertin "entschieden, dass eine Fortsetzung unter dem Dach der Jenoptik nicht sinnvoll ist." Xtreme Technologies habe im Geschäftsjahr 2007 das negative Beteiligungsergebnis des Jenoptik-Konzerns geprägt, so Mertin weiter. Im laufenden zweiten Quartal erhofft man sich eine Entlastung durch den Rückzug aus der EUV-Strahlquellen-Technologie.

Das Joint Venture entwickelt extrem ultraviolette (EUV) Lichtquellen für die Fotolithographie in der Chipfertigung. Xtreme war 2001 von der Göttinger Lambda Physik AG und Jenoptik als Gemeinschaftsunternehmen gegründet worden. Im Juli 2005 erwarb Ushio alle Anteile von Lambda. Am Standort Göttingen wurden Gasentladungsplasma-EUV-Quellen entwickelt und gefertigt, in Jena sowohl Laserplasma- als auch Gasentladungsplasma-EUV-Quellen untersucht.

Als Lithographie wird die Technik bezeichnet, mit der Schaltkreisstrukturen auf Halbleiterchips übertragen werden. Um die Dichte von Transistoren auf einem Chip immer weiter zu erhöhen, müssen die Halbleiterhersteller immer kleinere Strukturen auftragen.