• IT-Karriere:
  • Services:

Toshiba fertigt 22-Nanometer-Chips mit Präge-Lithographie

Neues Verfahren für nächste und übernächste Halbleiter-Generation?

Das US-Unternehmen "Molecular Imprints" (MII) meldet einen Erfolg bei dem Bestreben, ein neues Verfahren für die Herstellung von Halbleitern zur Serienreife zu führen. MII zufolge wurden bei Toshiba, die von MII mit Maschinen beliefert werden, erstmals CMOS-Schaltungen in 22 Nanometern Strukturbreite hergestellt - und zwar nicht durch die sonst üblichen Belichtungsverfahren.

Artikel veröffentlicht am ,

Die gängige Methode, um die feinen Strukturen eines modernen Halbleiters zu erzeugen, ist die Belichtung mittels Masken und anschließendes Abtragen des überschüssigen Material - meist durch Ätzen. Da aber die Breiten der Leiterbahnen längst unter den Wellenlängen des sichtbaren Lichts liegen, wird das immer schwieriger. Ein Ansatz ist die "Immersions-Lithographie", bei der die Maschinen, sogenannte "wet tools", vollständig mit Flüssigkeit gefüllt werden müssen. Auch von der Kombination mit Röntgen-Strahlen, euphemistisch auch "Extreme Ultra Violet" (EUV) genannt, verspricht sich die Halbleiter-Branche weitere Verkleinerungen jenseits von den schon vorgeführten 32 Nanometern.

Stellenmarkt
  1. SEG Automotive Germany GmbH, Stuttgart-Weilimdorf
  2. CITTI Handelsgesellschaft mbH & Co. KG, Kiel

Ein ganz anderes Verfahren ist die Prägelithographie, auch "Imprint Lithography" oder "Nano Imprint Lithograpy" (NIL) genannt. Statt einer Maske wird eine Art Positiv-Stempel verwendet, dessen Relief in einer doppelten Prägung mit Aufbringung des zu züchtenden Materials nach Belichtung die Strukturen definiert. Vor allem für Halbleiter-Generation ab 22 Nanometern - dem nächsten Schritt nach 32 Nanometern - soll die Prägelithographie eine Alternative zum bisherigen Belichten sein und EUV überflüssig machen. Ein Vorteil der Prägelithographie ist auch, dass die teuren Masken nicht eigens gefertigt werden müssen. Viele Unternehmen lagern diesen Produktionsschritt aus, die Präge-Stempel sollen sich mit einer einzelnen Maschine kostengünstig selbst herstellen lassen, was vor allem für Klein-Serien wie die Herstellung von Prototypen interessant erscheint.

Bisher wurden jedoch nur vergleichsweise einfache Strukturen für die Prägung als geeignet angesehen, darunter Dioden und die Verbindungen von Chips nach außen oder untereinander. Laut Molecular Imprints (MII) wurden deren Maschinen nun bei Toshiba erstmals dazu verwendet, eine komplexe CMOS-Schaltung mit 22 Nanometern Strukturbreite herzustellen. Welcher Schaltungstyp dabei erzeugt wurde, gaben die beiden Unternehmen noch nicht an - üblich ist für solche Experimente mit kleinen Strukturbreiten ein SRAM, weil es sehr homogen aufgebaut ist und das Verhalten der Schaltung sich bei verschiedenen Betriebszuständen leicht analysieren lässt.

Wie MII angibt, wurden dabei Defekt-Raten unter 0,3 Beschädigungen pro Quadratzentimeter Die-Fläche erzielt, die Abweichungen der Breite der Leiterbahnen sollen kleiner als 2 Nanometer gewesen sein - beides gute Werte für erste Bauteile in einer neuen Strukturbreite. Dass ein namhafter Halbleiter-Hersteller wie Toshiba sich für Prägelithographie so interessiert, dass damit teure Prototypen-Experimente angestellt werden, darf als Erfolg für die noch junge Technik gewertet werden. Auch HP arbeitet bereits seit Jahren an der Prägelithografie. Noch ist aber nicht absehbar, für welche Anwendungsgebiete des großen Halbleitermarktes sich das Verfahren letztendlich in der Serienfertigung eignet.

Bitte aktivieren Sie Javascript.
Oder nutzen Sie das Golem-pur-Angebot
und lesen Golem.de
  • ohne Werbung
  • mit ausgeschaltetem Javascript
  • mit RSS-Volltext-Feed


Anzeige
Hardware-Angebote
  1. (reduzierte Überstände, Restposten & Co.)

Folgen Sie uns
       


Razer Blade Stealth 13 - Test

Dass ein Gaming-Notebook kompakt sein kann und auch als Arbeitsnotebook fürs Schreiben taugt, haben wir eher weniger erwartet. Das Razer Blade Stealth 13 zeigt, dass dies trotzdem möglich ist.

Razer Blade Stealth 13 - Test Video aufrufen
Dreams im Test: Bastelwastel im Traumiversum
Dreams im Test
Bastelwastel im Traumiversum

Bereits mit Little Big Planet hat das Entwicklerstudio Media Molecule eine Kombination aus Spiel und Editor produziert, nun geht es mit Dreams noch ein paar Schritte weiter. Mit dem PS4-Titel muss man sich fast schon anstrengen, um nicht schöne Eigenkreationen zu erträumen.
Ein Test von Peter Steinlechner

  1. Ausdiskutiert Sony schließt das Playstation-Forum
  2. Sony Absatz der Playstation 4 geht weiter zurück
  3. PS4-Rücktasten-Ansatzstück im Test Tuning für den Dualshock 4

Grünheide: Umweltbewegung agiert bei Tesla-Fabrik unglücklich
Grünheide
Umweltbewegung agiert bei Tesla-Fabrik unglücklich

Es gibt gute Gründe, die Elektromobilität nicht nur unkritisch zu bejubeln. Einige Umweltverbände und Klimaaktivisten machen im Fall der Tesla-Fabrik in Grünheide dabei aber keine besonders gute Figur.
Ein IMHO von Hanno Böck

  1. Gigafactory Berlin Der "Tesla-Wald" ist fast gefällt
  2. Grünheide Tesla darf Wald weiter roden
  3. Gigafactory Grüne kritisieren Grüne Liga wegen Baumfällstopp für Tesla

Videostreaming: Was an Prime Video und Netflix nervt
Videostreaming
Was an Prime Video und Netflix nervt

Eine ständig anders sortierte Watchlist, ein automatisch startender Stream oder fehlende Markierungen für Aboinhalte: Oft sind es nur Kleinigkeiten, die den Spaß am Streaming vermiesen - eine Hassliste.
Ein IMHO von Ingo Pakalski

  1. Dispatch Open-Source-Krisenmanagement à la Netflix
  2. Videostreaming Netflix integriert Top-10-Listen für Filme und TV-Serien
  3. WhatsOnFlix Smartphone-App für bessere Verwaltung der Netflix-Inhalte

    •  /