Intel rüstet vierte Fab für 45 Nanometer aus

Fab 11X in Neu Mexiko soll Mitte 2008 die Produktion aufnehmen

Nach Standorten in den US-Bundesstaaten Oregon und Arizona sowie in Israel macht Intel nun die vierte Halbleiter-Fabrik (Fab) fit für die Herstellung von Prozessoren mit 45 Nanometern Strukturbreite. Das Werk "Fab 11X" in Neu Mexiko wird dazu für über eine Milliarde US-Dollar umgerüstet.

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Damit schiebt Intel den sehr schnellen Wechsel von 65 Nanometern auf 45 Nanometer weiter an. Derzeit werden bereits in den Werken "Fab D1D" in Oregon und "Fab 32" in Arizona Vorbereitungen für die Serienproduktion von 45-Nanometer-Wafern getroffen, diese beiden Werke sollen noch Mitte 2007 den vollen Betrieb aufnehmen. 2008 soll dann die "Fab 28" in Israel fit für 45 sein - und, wie jetzt bekannt wurde, auch die "Fab 11X" in Rio Rancho.

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Reinraum von Fab 11X im Jahr 2002
Reinraum von Fab 11X im Jahr 2002
Dort hatte Intel Ende 2002 die Massenproduktion im damals größten Halbleiter-Werk der Welt aufgenommen, die Kosten für Bau und technische Anlagen betrugen 2 Milliarden US-Dollar. Die Fab 11X war Intels zweite Produktionsanlage für 300 Millimeter durchmessende Wafer und ursprünglich für eine Strukturbreite von 130 Nanometern ausgelegt. Das Werk war auch Intels erste Produktionsanlage, bei der die Wafer in eigenen Behältern auf einem an der Decke befestigten Schienensystem automatisch zu den nächsten Arbeitsschritten transportiert wurden. 2003 stellte Intel die Anlage dann auf 90 Nanometer um.

Nun steht dem Werk erneut ein "Retooling" bevor. Als "Tools" bezeichnet die Halbleiterbranche die einzelnen Maschinen für die Produktionsschritte eines Wafers wie etwa Belichtungs- und Ätz-Automaten. Der Umbau soll laut Intel rund 1 bis 1,5 Milliarden US-Dollar kosten. Derartige Umstellungen einer Halbleiterfabrik entsprechen einer Kernsanierung eines Bauwerks. Neben den Mauern bleiben nur Ver- und Entsorgung - beispielsweise mit Energie und Reinwasser - und die Logistik wie das Schienensystem intakt. Daher sind auch die Kosten vorher nicht genau zu beziffern, da sich während der Arbeiten erst herausstellt, was noch gebraucht werden kann und was ausgetauscht werden muss.

Herstellen will Intel in Rio Rancho zunächst die Prozessor-Familie Penryn, die neue CPUs für Server, Desktops und Notebooks bringen wird. Bereits 2009 soll dann der Wechsel auf 32 Nanometer Strukturbreite erfolgen; welche Fabs Intel dafür umrüstet, ist noch nicht bekannt.

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