Abo
  • Services:
Anzeige

Röntgen-Mikroskopie gegen Defekte in gestrecktem Silizium

Neue Methode entdeckt periodisch wiederkehrende Fehler

US-Forscher haben eine neue Methode entwickelt, um die Ausbeute bei Halbleitern aus "strained silicon" zu verbessern. Ihnen ist es erstmals gelungen, sich wiederholende Unregelmäßigkeiten in den verschiedenen Schichten eines Wafers sichtbar zu machen.

So genanntes "strained silicon" - oder gestrecktes Silizium - ist einer der aktuellen Tricks, um die Schaltgeschwindigkeit von Transistoren zu erhöhen. Dabei wird der Gitterabstand des Siliziums erhöht, wodurch die Elektronen leichter fließen können. AMD und Intel setzen dieses Verfahren seit ihren 90-Nanometer-Prozessen ein.

Anzeige

Wiederkehrende Defekte werden als weiße Linien dargestellt
Wiederkehrende Defekte werden als weiße Linien dargestellt
Ein Problem bei der Herstellung von gestrecktem Silizium sind in bestimmten Abständen des Halbleiters auftretende Unregelmäßigkeiten, die in dreidimensionaler Darstellung wie Sanddünen aussehen - die Gitterstruktur, bzw. deren Abstände, sind nicht exakt gleichmäßig. Solche Unregelmäßigkeiten lassen sich aber, wenn sie nur in inneren Schichten eines Multi-Layer-Wafers auftreteten, nur schwer diagnostizieren.

Forscher des "National Institute of Standards and Technology" (NIST) haben nun eine Methode entwickelt, mit der sie in einzelne Schichten eines Halbleiters blicken können. Dazu werden Wafer in einem extrem flachen Winkel mit Röntgenstrahlung beschossen, abhängig vom Reflexionsverhalten an den Grenzschichten der Layer lassen sich dann die Bilder erzeugen. Die Wissenschaftler stellten dabei fest, dass sich, wie in einer Falte von aufeinander gestapelten Laken, die Fehler quer durch alle Layer des Wafers ziehen.

Das Verfahren wurde in der Ausgabe 88 des Fachblattes "Applied Physics Letters" vorgestellt. Wann es in der Halbleiterfertigung eingesetzt werden kann, steht noch nicht fest.


eye home zur Startseite
roach 10. Jul 2006

Ich würde mal meinen, dann hätte es nicht mehr deutsche Rechtschreibefehler als jetzt...



Anzeige

Stellenmarkt
  1. LEDVANCE GmbH, Garching bei München
  2. PTV Group, Karlsruhe
  3. IFA Group, Haldensleben
  4. HEKUMA GmbH, Hallbergmoos


Anzeige
Top-Angebote
  1. 34,99€
  2. 99,99€ für Prime-Mitglieder (Bestpreis!) - Lieferbar Ende Januar
  3. 89,90€ + 5,99€ Versand (Vergleichspreis 109,99€)

Folgen Sie uns
       


  1. Apple

    Messages-App kann mit Nachricht zum Absturz gebracht werden

  2. Willy.tel

    Kabelnetzkunden in falscher Sorge wegen DVB-T-Abschaltung

  3. Partnerprogramm

    Geld verdienen auf Youtube wird schwieriger

  4. Nur beratendes Gremium

    Bundestag setzt wieder Digitalausschuss ein

  5. Eclipse Foundation

    Erster EE4J-Code leitet Java-EE-Migration ein

  6. Breitbandmessung

    Provider halten versprochene Geschwindigkeit fast nie ein

  7. Virtualisierung

    Linux-Gasttreiber für Virtualbox bekommt Mainline-Support

  8. DJI Copilot von Lacie

    Festplatte kopiert SD-Karten ohne separaten Rechner

  9. Swift 5

    Acers dünnes Notebook kommt ab 1.000 Euro in den Handel

  10. Vodafone

    Callya-Flex-Tarife bekommen mehr Datenvolumen



Haben wir etwas übersehen?

E-Mail an news@golem.de


Anzeige
EU-Netzpolitik: Mit vollen Hosen in die App-ocalypse
EU-Netzpolitik
Mit vollen Hosen in die App-ocalypse

Preiswertes Grafik-Dock ausprobiert: Ein eGPU-Biest für unter 50 Euro
Preiswertes Grafik-Dock ausprobiert
Ein eGPU-Biest für unter 50 Euro
  1. XG Station Pro Asus' zweite eGPU-Box ist schlicht
  2. Zotac Amp Box (Mini) TB3-Gehäuse eignen sich für eGPUs oder SSDs
  3. Snpr External Graphics Enclosure KFA2s Grafikbox samt Geforce GTX 1060 kostet 500 Euro

Kryptowährungen: Von Tulpen, Berg- und Talfahrten
Kryptowährungen
Von Tulpen, Berg- und Talfahrten
  1. Bitcoin Israels Marktaufsicht will Kryptoverbot an Börse durchsetzen
  2. Geldwäsche EU will den Bitcoin weniger anonym machen
  3. Kryptowährung 4.700 Bitcoin von Handelsplattform Nicehash gestohlen

  1. Re: "Wenn es einen elektrischen Supersportwagen...

    JackIsBlack | 19:09

  2. Re: Die Tests sind auch dämlich

    Ugly | 19:08

  3. Re: Und bei PYUR bzw. TeleColumbus sind es...

    Hackfleisch | 19:07

  4. Ich hab das gesamte PDF nach "versprochen...

    Pedrass Foch | 19:02

  5. Re: Meanwhile in germany....

    matok | 19:00


  1. 19:25

  2. 19:18

  3. 18:34

  4. 17:20

  5. 15:46

  6. 15:30

  7. 15:09

  8. 14:58


  1. Themen
  2. A
  3. B
  4. C
  5. D
  6. E
  7. F
  8. G
  9. H
  10. I
  11. J
  12. K
  13. L
  14. M
  15. N
  16. O
  17. P
  18. Q
  19. R
  20. S
  21. T
  22. U
  23. V
  24. W
  25. X
  26. Y
  27. Z
  28. #
 
    •  / 
    Zum Artikel