Fraunhofer CNT forscht an Nanotechnik für Chips

Gemeinsame Anstrengung von Bund, Land sowie AMD und Infineon

Rund 700 Millionen Euro haben Bund, das Land Sachsen sowie die Unternehmen AMD und Infineon in das neue "Fraunhofer-Center Nanoelektronische Technologien" in Dresden gesteckt, das nun eröffnet wurde. Wissenschaft und Wirtschaft sollen hier im Rahmen einer Public-Private-Partnership gemeinsam neue Prozesstechnologien für die Nanoelektronik entwickeln.

Artikel veröffentlicht am 1. Juni 2005, 9:40 Uhr, Jens Ihlenfeld

Dabei soll das Fraunhofer CNT modellhaft für eine neue Art der Verzahnung von Forschung und Fertigung stehen, wie Dr. Alfred Gossner, Vorstand der Fraunhofer-Gesellschaft, auf der Eröffnung des CNT betonte. Das CNT ist Teil der europäischen Initiative ENIAC (European Nanoelectronic Initiative Advisory Council) zur Stärkung der Nanoelektronik und soll direkt mit der Industrie zusammenarbeiten.

Im August des vergangenen Jahres hatten die Partner - Fraunhofer-Gesellschaft, Infineon Technologies AG und Advanced Micro Devices Inc. (AMD) und die Förderer Bundesforschungsministerium sowie der Freistaat Sachsen - die Absichtserklärung zur Gründung des Fraunhofer CNT unterschrieben. Nach neun Monaten wurde das CNT nun eröffnet. Auf dem Dresdner Fertigungsgelände von Infineon stehen dem CNT 800 qm Reinraumfläche sowie eine moderne Infrastruktur zur Verfügung.

Ziel der Forschungseinrichtung ist es, die Synergien zwischen Forschung, Entwicklung und Fertigung von Prozesstechnologien für die Nanoelektronik am Standort Dresden maximal zu nutzen. So will man Halbleiterstrukturen auf bis unter 50 Nanometer verkleinern und diese Techniken schnell in die Fertigung implementieren.

Nahezu 100 Entwicklungs- und Fertigungsingenieure der Industriepartner sowie wissenschaftliche Mitarbeiter der Fraunhofer-Gesellschaft sollen im CNT Lösungen für die Nanoelektronik erarbeiten. Die Leitung des Fraunhofer CNT übernimmt Dr. Peter Kücher, der von Infineon kommt.