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"Bochumer Verfahren" soll Chip-Fertigung revolutionieren

Ionenimplantation in tiefen Schichten eines Halbleiters gelungen

Ein neues Verfahren zum Erstellen von Schaltungen in tiefen Schichten eines Halbleiters haben die Ruhr-Universität Bochum und zwei deutsche Unternehmen entwickelt.

Artikel veröffentlicht am ,

Bisher werden komplexe Chips typischerweise in mehreren Schichten, so genannten Layern erstellt. Dabei wird wie bei einem mehrlagigen Mainboard eine Schicht nach der anderen aufgebracht, die dann durch so genannte Interconnects verbunden sind.

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Schon seit längerem arbeiten die Halbleiterhersteller an Technologien, mit denen die Schichten im Halbleiter selbst erzeugt werden. Das könnte etliche Arbeitsschritte bei der Herstellung eines Chips einsparen, was die Fertigung schneller und billiger macht. Ein Ansatz ist dabei die Ionenimplantation. In einem Chip befindet sich nicht nur Silizium, sondern eine Vielzahl an leitenden und nicht leitenden Materialien. Diese müssen jedoch im Kristallgitter stets in einer bestimmten Ionenform vorliegen, um ihre Funktion im Chip zu erfüllen.

Forscher der Unternehmen Semikron (Nürnberg), Prema (Mainz) und der Ruhr-Universität Bochum wollen nun ein praktikables Verfahren für die Ionenimplantation entwickelt haben. Dabei kommt ein Ionenstrahl zum Einsatz, der die Teilchen auf sechs Millionen Elektronenvolt beschleunigt. Zum Vergleich: Die Photonen des sichtbaren Lichts haben eine Energie von etwa 2 Elektronenvolt.

Mit diesem Ionenstrahl haben die Ingenieure das Silizium eines Halbleiters nur bis zur gewünschten Tiefe durchdrungen, an der dann die Ionen aufgebracht werden sollen. Der Rest des Bauteils blieb unbeschädigt.

Die Entwicklung des Verfahrens war vom Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) mit 3,5 Millionen Euro bezuschusst worden. [von Nico Ernst]



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:-) 22. Dez 2004

Ich stelle mir das mal ganz naiv vor: Eine Siliziumscheibe besteht im Idealfall aus einem...

Denkmal 21. Dez 2004

da hast Du mich wohl etwas falsch verstanden. Ich verdiene selbst seit über 20 Jahren im...

Name Ist Leer 21. Dez 2004

Auch wenn die Technik so schön ist und auch wenn damit die Sachen billiger werden... ES...

faxe 21. Dez 2004

tja innovation in deutschland wenn alle so denken würden, ups dann würde es ja das...

Denkmal 21. Dez 2004

ich lach mich tot - seit etwa 10 Jahren bastelt PREMA an dieser Anlage, hat x Versuche...


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