Abo
  • Services:
Anzeige

"Bochumer Verfahren" soll Chip-Fertigung revolutionieren

Ionenimplantation in tiefen Schichten eines Halbleiters gelungen

Ein neues Verfahren zum Erstellen von Schaltungen in tiefen Schichten eines Halbleiters haben die Ruhr-Universität Bochum und zwei deutsche Unternehmen entwickelt.

Bisher werden komplexe Chips typischerweise in mehreren Schichten, so genannten Layern erstellt. Dabei wird wie bei einem mehrlagigen Mainboard eine Schicht nach der anderen aufgebracht, die dann durch so genannte Interconnects verbunden sind.

Schon seit längerem arbeiten die Halbleiterhersteller an Technologien, mit denen die Schichten im Halbleiter selbst erzeugt werden. Das könnte etliche Arbeitsschritte bei der Herstellung eines Chips einsparen, was die Fertigung schneller und billiger macht. Ein Ansatz ist dabei die Ionenimplantation. In einem Chip befindet sich nicht nur Silizium, sondern eine Vielzahl an leitenden und nicht leitenden Materialien. Diese müssen jedoch im Kristallgitter stets in einer bestimmten Ionenform vorliegen, um ihre Funktion im Chip zu erfüllen.

Anzeige

Forscher der Unternehmen Semikron (Nürnberg), Prema (Mainz) und der Ruhr-Universität Bochum wollen nun ein praktikables Verfahren für die Ionenimplantation entwickelt haben. Dabei kommt ein Ionenstrahl zum Einsatz, der die Teilchen auf sechs Millionen Elektronenvolt beschleunigt. Zum Vergleich: Die Photonen des sichtbaren Lichts haben eine Energie von etwa 2 Elektronenvolt.

Mit diesem Ionenstrahl haben die Ingenieure das Silizium eines Halbleiters nur bis zur gewünschten Tiefe durchdrungen, an der dann die Ionen aufgebracht werden sollen. Der Rest des Bauteils blieb unbeschädigt.

Die Entwicklung des Verfahrens war vom Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) mit 3,5 Millionen Euro bezuschusst worden. [von Nico Ernst]


eye home zur Startseite
:-) 22. Dez 2004

Ich stelle mir das mal ganz naiv vor: Eine Siliziumscheibe besteht im Idealfall aus einem...

Denkmal 21. Dez 2004

da hast Du mich wohl etwas falsch verstanden. Ich verdiene selbst seit über 20 Jahren im...

Name Ist Leer 21. Dez 2004

Auch wenn die Technik so schön ist und auch wenn damit die Sachen billiger werden... ES...

faxe 21. Dez 2004

tja innovation in deutschland wenn alle so denken würden, ups dann würde es ja das...

Denkmal 21. Dez 2004

ich lach mich tot - seit etwa 10 Jahren bastelt PREMA an dieser Anlage, hat x Versuche...



Anzeige

Stellenmarkt
  1. Kraftverkehr Nagel GmbH & Co. KG, Versmold
  2. Fraunhofer-Institut für Optronik, Systemtechnik und Bildauswertung IOSB, Ettlingen
  3. OPERATIONAL SERVICES GMBH & CO. KG, Frankfurt
  4. LAWO Informationssysteme GmbH, Rastatt


Anzeige
Top-Angebote
  1. 629€ + 1,99€ Versand oder Abholung im Markt
  2. 10,99€
  3. 7,49€

Folgen Sie uns
       


  1. Microsoft

    Programme für Quantencomputer in Visual Studio entwickeln

  2. Arbeitsspeicher

    DDR5 nutzt Spannungsversorgung auf dem Modul

  3. Video-Pass

    Auch Vodafone führt Zero-Rating-Angebot ein

  4. Vernetztes Fahren

    Stiftung Warentest kritisiert Datenschnüffelei bei Auto-Apps

  5. Ransomware

    Redboot stoppt Windows-Start und kann nicht entschlüsseln

  6. Dan Cases C4-H2O

    9,5-Liter-Gehäuse mit 240-mm-Radiator

  7. iPhone 8 Plus im Test

    Warten auf das X

  8. Office

    Microsoft 365 zeigt LinkedIn-Informationen von Kontakten an

  9. Twitter

    Aggressive Trump-Tweets wegen Nachrichtenwert nicht gelöscht

  10. Mototok

    Elektroschlepper rangieren BA-Flugzeuge



Haben wir etwas übersehen?

E-Mail an news@golem.de


Anzeige
Bundestagswahl 2017: Viagra, Datenbankpasswörter und uralte Sicherheitslücken
Bundestagswahl 2017
Viagra, Datenbankpasswörter und uralte Sicherheitslücken
  1. Bundestagswahl 2017 IT-Probleme verzögerten Stimmübermittlung
  2. Zitis Wer Sicherheitslücken findet, darf sie behalten
  3. TV-Duell Merkel-Schulz Die Digitalisierung schafft es nur ins Schlusswort

Olympus Tough TG5 vs. Nikon Coolpix W300: Die Schlechtwetter-Kameras
Olympus Tough TG5 vs. Nikon Coolpix W300
Die Schlechtwetter-Kameras
  1. iZugar 220-Grad Fisheye-Objektiv für Micro Four Thirds vorgestellt
  2. Mobilestudio Pro 16 im Test Wacom nennt 2,2-Kilogramm-Grafiktablet "mobil"
  3. HP Z8 Workstation Mit 3 TByte RAM und 56 CPU-Kernen komplexe Bilder rendern

Wireless Qi: Wie die Ikealampe das iPhone lädt
Wireless Qi
Wie die Ikealampe das iPhone lädt
  1. Noch kein Standard Proprietäre Airpower-Matte für mehrere Apple-Geräte

  1. Re: und O2 hat den All-Pass mit 1Mbit Bremse aber...

    orcymmot | 14:51

  2. Re: Vergleich Tests Note 8 <-> iPhone 8 Plus

    Whitey | 14:50

  3. Re: Netzneutralität eindeutig verletzt!!!

    Paule | 14:49

  4. ALternative als Mittelweg der Tasten

    code759 | 14:48

  5. Re: Zu AR

    PmK | 14:47


  1. 14:46

  2. 14:05

  3. 13:48

  4. 12:57

  5. 12:42

  6. 12:22

  7. 12:02

  8. 11:55


  1. Themen
  2. A
  3. B
  4. C
  5. D
  6. E
  7. F
  8. G
  9. H
  10. I
  11. J
  12. K
  13. L
  14. M
  15. N
  16. O
  17. P
  18. Q
  19. R
  20. S
  21. T
  22. U
  23. V
  24. W
  25. X
  26. Y
  27. Z
  28. #
 
    •  / 
    Zum Artikel