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Deutschland fördert Nanoelektronik-Produktionstechnik

80 Millionen Euro für die Entwicklung von Abbildungsmethodiken

Damit Deutschland im Rennen um Nanoelektronik vorne mitspielen kann, will das Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) Industrie und Forschungsinstitute bei der Entwicklung neuer Abbildungsmethodiken in der Nanoelektronik zusammenführen. Für das Projekt "Abbildungsmethodiken für nanoelektronische Bauelemente" seien in den kommenden vier Jahren insgesamt rund 80 Millionen Euro vorgesehen, so das Ministerium.

Für die Nanoelektronikindustrie ist es entscheidend, immer leistungsfähigere und gleichzeitig preiswertere Chips zu entwickeln. Dabei werden etwa mit lithographischen Abbildungsmethodiken Chip-Strukturen im Hochdurchsatzverfahren auf Wafer übertragen. Je kleiner die Strukturen, umso schwieriger wird es, sie auf den Wafer zu übertragen.

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Für das BMBF-Projekt haben sich 23 Partner aus Industrie und Forschungsinstituten zusammengeschlossen. Sie sollen dabei ihre Erfahrung in Teilbereichen wie Ultrapräzisionsbearbeitung, Maskentechnologie, Nanostrukturierung, Mess- und Halbleitertechnologie zusammenbringen.

Beteiligt sind neun Großunternehmen (Schott Lithotec Jena, Steag Hamatech Sternenfels, Siemens München, AMD Dresden, Infineon München und Dresden, AMTC Dresden, DuPont Photomasks Dresden, M+W Zander Stuttgart, Leica Jena und Wetzlar), fünf klein- und mittelständische Unternehmen (Sigma C München, NaWoTec Darmstadt, Equicon Jena, IMS Jena, Teraport Stuttgart) sowie neun Forschungsinstitute (FhG-ISiT Itzehoe, FhG-IOF Jena, FhG-IWS Dresden, IMS-Chips Stuttgart, PTB Braunschweig, FhG-IISB Erlangen, FhG-HHI Berlin, ZfM-TUC Chemnitz, BESSY II Berlin).


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:-) 07. Jun 2004

Wo du Recht hast... Sicher sind Nanopartikel, mal als Stäube betrachtet, durchaus...

Sabine Leti 07. Jun 2004

Hallo, mal keine Panik. 1. Es stimmt nicht, dass sich keiner um mögliche Risiken der...

Damn.State 13. Mai 2004

Kluge Leude! Ha, wen meint ihr denn damit? Aber wohl nicht euch selber! Der ganze scheiss...

:-) 12. Mai 2004

Welche meinst du? Die Bierwirtschaft?? Und warum? Weil es zu viele ausgeflippte Spinner...

Silentium 12. Mai 2004

Weltwirtschaft ist eng mit dem jährlichen wachstum der transistoren auf chips verbunden...



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