Abo
  • IT-Karriere:

Infineon meldet Durchbruch bei Nanotechnologie

Die Untersuchungen von Infineon hätten nun gezeigt, dass auch bei Dicken von weniger als 2 nm keine Kupfer-Diffusion auftrete. Damit seien diese ultradünnen Sperrschichten ebenso zuverlässig wie die derzeit in Produkten verwendeten Diffusions-Barrieren mit Dicken von 50 nm. Zudem sei der elektrische Widerstand in den Vias durch diese sehr dünnen Schichten ausreichend klein, um die hohen Geschwindigkeitsanforderungen erfüllen zu können, wie sie z.B. Mikroprozessoren haben, die voraussichtlich Mitte des nächsten Jahrzehnts gefertigt werden, so Infineon.

Stellenmarkt
  1. ING-DiBa AG, Frankfurt
  2. Öffentliche Versicherung Braunschweig, Braunschweig

Die Kupferleitungen wurden mit der so genannten Damascene-Technik gefertigt. Benannt nach dem Verfahren, mit dem die Ornamente in den berühmten Damaszenischen Schwertern erstellt wurden - werden hier die geätzten Gräben und Löcher mit Metall aufgefüllt. Nachdem die überstehenden Metallbereiche durch ein chemisch-mechanisches Polierverfahren wieder abgetragen werden, entstehen extrem schmale Metallleitungen. Diese Metallleitungen würden für die sehr schnellen Verbindungen der Schaltungselemente auf zukünftigen Chips verwendet. Die Silizium-Wafer für den Versuchsaufbau wurden in den Reinräumen von Infineon auf Basis von Standard-Prozessen und -Tools gefertigt.

Da die Fertigungsgeräte und -einrichtungen für die Produktion der Jahre in der Zukunft liegenden Chipgenerationen noch nicht zur Verfügung stehen, hat Infineon bestehende Prozesse und Tools für die Untersuchung über den heutigen Anwendungsbereich hinaus ausgereizt. Dadurch erst habe eine zuverlässige Aufbringung von Diffusions-Barrieren mit weniger als 2 nm Dicke realisiert werden können. Derart dünne Schichten seien erforderlich, um die äußerst leistungsfähigen Mikroprozessoren fertigen zu können, wie sie ab 2016 erwartet werden. Die Ergebnisse lassen darüber hinaus auch erwarten, dass die derzeit genutzten Abscheide-Techniken beim Aufbau der Schaltungsstrukturen auch bei künftigen Chip-Generationen angewandt werden können, und neue aufwendige Technologien wie z.B. "Atomic-Layer-Deposition" erst später als bisher angenommen zum Einsatz kommen werden.

"Durch den geringen elektrischen Widerstand und die ausgezeichnete Widerstandsfähigkeit gegenüber Elektromigration bietet Kupfer klare Vorteile für leistungsfähige ICs. Damit Kupfer auch das bevorzugte Material für die Metallisierung in künftigen Chip-Generationen sein kann, muss großes Augenmerk auf die Vermeidung der Kupfer-Diffusion gelegt werden", betonte Prof. Dr. Karl Joachim Ebeling, Forschungsleiter bei Infineon Technologies. Die jetzt erreichten Ergebnisse würden einen wesentlichen Schritt bei der Bereitstellung der anspruchsvollen Technologien für die Fertigung der nächsten, weiter miniaturisierten Chip-Generationen markieren.

Infineon erwartet, dass die nächste Ausgabe der ITRS die Forschungsergebnisse berücksichtigen wird.

 Infineon meldet Durchbruch bei Nanotechnologie
  1.  
  2. 1
  3. 2


Anzeige
Hardware-Angebote
  1. ab 194,90€
  2. 199€ + Versand
  3. für 229,99€ vorbestellbar

Folgen Sie uns
       


Tiemo Wölken (SPD) zu Artikel 13

Der SPD-Europaabgeordnete Tiemo Wölken hofft darauf, dass das Europaparlament am 26. März 2019 den umstrittenen Artikel 13 noch ablehnt.

Tiemo Wölken (SPD) zu Artikel 13 Video aufrufen
Adblock Plus: Adblock-Filterregeln können Code ausführen
Adblock Plus
Adblock-Filterregeln können Code ausführen

Unter bestimmten Voraussetzungen können Filterregeln für Adblocker mit einer neuen Funktion Javascript-Code in Webseiten einfügen. Adblock Plus will reagieren und die entsprechende Funktion wieder entfernen. Ublock Origin ist nicht betroffen.
Von Hanno Böck

  1. Urheberrecht Axel-Springer-Verlag klagt erneut gegen Adblocker
  2. Whitelisting erlaubt Kartellamt hält Adblocker-Nutzung für "nachvollziehbar"
  3. Firefox Klar Mozilla testet offenbar Adblocker

Elektromobilität: Was hat ein Kanu mit Autos zu tun?
Elektromobilität
Was hat ein Kanu mit Autos zu tun?

Veteranen der deutschen Autoindustrie wollen mit Canoo den Fahrzeugbau und den Vertrieb revolutionieren. Zunächst scheitern die großen Köpfe aber an den kleinen Hürden der Startupwelt.
Ein Bericht von Dirk Kunde

  1. EU Unfall-Fahrtenschreiber in Autos ab 2022 Pflicht
  2. Verkehrssenatorin Fahrverbot für Autos in Berlin gefordert
  3. Ventomobil Mit dem Windrad auf Rekordjagd

Falcon Heavy: Beim zweiten Mal wird alles besser
Falcon Heavy
Beim zweiten Mal wird alles besser

Die größte Rakete der Welt fliegt wieder. Diesmal mit voller Leistung, einem Satelliten und einer gelungenen Landung im Meer. Die Marktbedingungen sind für die Schwerlastrakete Falcon Heavy in nächster Zeit allerdings eher schlecht.
Von Frank Wunderlich-Pfeiffer und dpa

  1. SpaceX Dragon-Raumschiff bei Test explodiert
  2. SpaceX Raketenstufe nach erfolgreicher Landung umgekippt
  3. Raumfahrt SpaceX zündet erstmals das Triebwerk des Starhoppers

    •  /