IBM kündigt den kleinsten Silizium-Transistor an
"Die Fähigkeit, funktionstüchtige Transistoren mit diesen Dimensionen zu fertigen, könnte es uns ermöglichen, 100-mal mehr Transistoren auf einem Computer-Chip unterzubringen als derzeit möglich ist", so Dr. Randy Isaac, Vice President of Science and Technology bei IBM Research. Mit der Schrumpfung auf eine molekulare Ebene hätte sich zudem gezeigt, dass das zu Grunde liegende Transistor-Konzept auch in dieser Größe funktionieren würde.
Der Silizium-Körper des neuen 6-nm-Gate-Transistors soll lediglich 4 bis 8 nm dick sein und korrektes Ein- und Ausschalt-Verhalten zeigen. IBMs Wissenschaftler sollen damit bereits die weltweit kleinsten funktionierenden MOSFETs mit 4-nm-Silizium-Körper und 6-nm-Gate-Länge auf ultradünnen Silicon-on-Insulator-(SOI-)Wafern mittels Halo-Implantaten und 248-nm-Wellenlängen-Litographie gefertigt haben. IBMs Ergebnissen zufolge ist eine aggressive Verdünnung der SOI-Schicht eine vielversprechende Option, um CMOS-Schaltkreise weiter zu verkleinern.
IBM wird Details seiner Entwicklung im Dokument "Extreme Scaling with Ultra-thin Silicon Channel MOSFETs" auf dem IEDM vorstellen, der vom 9. bis 11. Dezember 2002 in San Francisco stattfindet.