Infineon fertigt DRAMs in 0,14-µm-Technologie

Serienproduktion von 256-Megabit-DRAMS in 0,14-µm-Technologie gestartet

Infineon Technologies kündigte heute die Einführung der 0,14-µm-Technologie in die Serienfertigung seiner DRAMs an. Die Volumenproduktion von 256-Megabit-Speicherkomponenten in dieser Technologie ist angelaufen. Die neue 0,14-µm-Fertigungstechnologie, die 18 Prozent kleinere Strukturen aufweist als der bisherige Fertigungsprozess mit 0,17 µm, soll zu einem Kostenvorteil von etwa 30 Prozent beitragen.

Artikel veröffentlicht am 18. Oktober 2001, 10:25 Uhr, Jens Ihlenfeld

Außerdem hat Infineon erste Muster der neuen hochintegrierten 512-Megabit-SDRAMs, die ebenfalls in der 0,14-µm-Technologie gefertigt werden, bereits an erste strategische Partner geliefert.

Der neue Prozess wird bereits seit September in Infineons 200-mm-Fertigung in Dresden genutzt und nun in der Volumenproduktion von 256-Megabit-DRAMs eingesetzt. Die übrigen zwei Produktionsstätten, die mit Dresden das "Fab Cluster" von Infineon bilden, nämlich das Werk in Richmond, Virginia (USA) und ProMOS Technologies - dem Joint-Venture-Unternehmen in Hsinchu, Taiwan - befinden sich in den letzten Phasen der Vorbereitungen, um den 0,14-µm-Prozess ebenfalls zu nutzen.

"Mit der Produktionseinführung unseres 0,14-µm-Prozesses unterstreicht Infineon zum wiederholten Male seine technologisch führende Position bei DRAM-Speichern", sagte Dr. Andreas von Zitzewitz, Mitglied des Vorstands und Chief Operating Officer von Infineon Technologies AG. "Mit dieser Version unseres 256-Megabit-DRAMs fertigen wir nicht nur den derzeit kleinsten 256-Megabit-Chip in der Industrie, sondern erreichen auch die günstigsten Produktionskosten."

Durch die derzeit laufende Übertragung der 0,14-µm-Technologie auf die 300-mm-Produktionslinien will Infineon seine Produktionskosten um weitere rund 30 Prozent reduzieren. Die 300-mm-Fertigung in Dresden hat mit der Vorserienproduktion bereits begonnen. Zu Beginn des kommenden Jahres wird dann die Serienproduktion in 0,14-µm-Technik aufgenommen. Das ProMOS-Joint-Venture wird ein bis zwei Quartale später folgen.

"Unsere einzigartige 'Trench'-Zellentechnologie liefert bei vergleichbaren Architekturen und DRAM-Größen ungefähr 10 Prozent kleinere Chips als andere Zellentechnologien", unterstrich Harald Eggers, Senior Vice President und General Manager der Memory Products Group von Infineon Technologies AG.