Philips und Fraunhofer entwickeln neue Chip-Technologie

Extrem ultraviolette Lichtquelle für die Zukunft der Chip-Herstellung. In einem Gemeinschaftsunternehmen mit der Fraunhofer-Gesellschaft will Philips eine bahnbrechende neue Technologie für die Produktion von Chips der nächsten Generation zur Marktreife entwickeln. Philips EUV GmbH heißt das Joint Venture, das jetzt gegründet wurde und an dem Philips mit seiner Business Group Automotive and Special Lighting zu 80 Prozent und die Fraunhofer-Gesellschaft zu 20 Prozent beteiligt sind.

15. Oktober 2001 um 10:09 Uhr / Jens Ihlenfeld

EUV steht dabei für Extrem Ultra-Violett. Wissenschaftler und Chiphersteller versprechen sich von Lichtquellen, die dieses extrem kurzwellige Licht aussenden, einen Durchbruch auf dem Weg zur Produktion von Chips der nächsten Generation. "Das Joint Venture zwischen Philips und Fraunhofer ist ein wichtiger Beitrag zur Profilierung Deutschlands als bedeutendem Technologie-Standort. Philips selbst will mit dem Joint Venture der führende Anbieter von EUV-Lichtquellen für die Chip-Herstellung werden" , kommentiert Walter Conrads, Sprecher der Philips-Geschäftsführung.

Das Fraunhofer-Institut für Lasertechnik (ILT) in Aachen hat eine Lampe zum Erzeugen von EUV-Licht entwickelt, die bereits als "Aachener Lampe" patentiert wurde. Sie habe, so Philips, auf der ganzen Welt beste Aussichten, sich künftig als Lichtquelle der Wahl bei der Chip-Herstellung durchzusetzen.

Schon im kommenden Jahr sollen Prototypen der Lampe fertig sein, bis zum Jahr 2005 will man marktreife Produkte fertig gestellt haben, um damit die Prozesse seitens der Gerätehersteller abstimmen zu können. Ab 2007 ist dann die Serienproduktion von Chips geplant.

Die EUV-Lampen sollen bei Philips in Aachen hergestellt werden.