Fab-Tour: In der Wiege der Phenoms

Der Reinraum von Globalfoundries in Dresden von innen

Seit über zehn Jahren steht die früher "Fab 30" genannte Chipfabrik in Dresden, nun hat der neue Eigentümer Globalfoundries erstmals Journalisten sein Allerheiligstes gezeigt. Gebaut werden dort sämtliche AMD-Prozessoren, unter für die Arbeiter schwierigen Bedingungen.

In Dresden betreibt Globalfoundries seit der Aufspaltung von AMD mit dem jetzt "Fab 1" genannten Werk eine der modernsten Chipfabriken Europas. Derzeit werden dort AMD-Prozessoren in 45 Nanometern Strukturbreite in Serie sowie erste Muster von 32-Nanometer-Wafern hergestellt. Die Kapazität des Standortes liegt bei über 50.000 Wafer-Starts im Monat, voll ausgelastet ist die Fab jedoch nicht, was für AMD ein wesentlicher Grund für die Auslagerung war.

Der nächste Schritt: 32 Nanometer

Wie lange die Herstellung eines Wafers dauert, ist in der Halbleiterbranche ein gut gehütetes Firmengeheimnis, auch Globalfoundries gibt diesen Wert nicht öffentlich an. Nur dass die Fertigung mehrere Wochen dauert, ist publik. Ein typischer Wert beträgt bei Prozessoren aber rund acht bis zwölf Wochen.

Die Wafer sind auch das Endprodukt der Dresdner Fab - zersägt und ins Chipgehäuse gesetzt, das sogenannte Package, werden die Dies vor allem in Malaysia. Daher steht auf AMD-CPUs auch "Diffused in Germany, Made in Malaysia". Einen Schritt vor dem Packaging vollzieht Globalfoundries in Dresden aber dennoch, nämlich das Testen der Chips auf dem Wafer und das Anbringen von lötfähigen Verbindungen, die dann die feinen Golddrähte aufnehmen, die zu den Beinchen der CPU führen. Für diesen "Bump and Test" genannten Prozess wurde die Fab erst 2006 erweitert, vorher war dies in eigenen Bereichen in jedem der Reinräume vorgesehen. Seit 2007 gibt es dafür eine eigene Abteilung für alle Wafer.

Im Reinraum für Bump and Test kann Globalfoundries zudem vollständige Prozessoren inklusive Packaging in Kleinserien herstellen. Das ist nicht nur für AMD ein Vorteil, die so die Korrelationen zwischen der Halbleiterfertigung und dem Package sofort kontrollieren können. Auch zukünftige Kunden sollen von der Fähigkeit profitieren, Kleinserien direkt vor Ort zu produzieren.

Ähnlich arbeiten auch andere Foundries wie TSMC, die beispielsweise an Nvidia fertige Grafikprozessoren liefern, die dann in der Firmenzentrale in Santa Clara auf Prototypen von Grafikkarten gesetzt werden.