UMC baut erste Chips mit 45 Nanometern

Funktionierende statische Speicher für nächstkleinere Strukturbreite

Der taiwanische Auftragshersteller für Halbleiter UMC hat nach eigenen Angaben erste SRAMs mit einer Strukturbreite von nur noch 45 Nanometern hergestellt. Dabei kam Immersions-Belichtung zum Einsatz, bei der die Geräte mit einer Flüssigkeit gefüllt werden.

SRAM-Bausteine gelten in der Halbleiter-Industrie als übliche Test-Chips für neue Fertigungsverfahren. UMC, der nach TSMC größte Auftragshersteller ("Foundry") für Halbleiter, will 300 Millimeter große Wafer mit 45 Nanometern Strukturbreite für das SRAM in seinem Werk in Süd-Taiwan hergestellt haben. Die dabei verwendete Immersions-Belichtung, die von einem höheren Brechungsindex von Flüssigkeiten profitiert, gibt UMC als maßgeblich für den Erfolg an.

Solche "Wet Tools", also Belichter mit Flüssigfüllung, fassen die Chip-Hersteller nur ungerne an, da sie zusätzliche Produktionsschritte erforderlich machen. So will Intel, welche bereits Ende 2007 die Serienfertigung von 45-Nanometer-Chips aufnehmen wollen, in dieser Strukturbreite noch ohne Immersion auskommen.

Auch andere Hersteller, wie berichtet darunter IBM und Chartered, haben ebenfalls schon die ersten Schritte auf dem Weg zu 45 Nanometern gemacht. AMD will Mitte 2008 nachziehen. Wann jedoch UMC die Massenproduktion aufnehmen will, gab das Unternehmen noch nicht bekannt.